[发明专利]制造电容器的方法在审
| 申请号： | 201810185928.X | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108400127A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 武聪伶 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/768 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种制造电容器的方法，可包括：制备包括有至少两层金属层的复合层衬底；在所述复合层衬底中分别形成具有不同深度的互连通孔；于所述互连通孔中填充金属材料形成互连线，以与所述至少两层金属层构成所述电容器。上述制造电容器的方法，通过两次刻蚀工艺在复合层衬底中分别形成具有不同深度的互连通孔，以有效避免较浅的互联通孔过刻蚀而使得所制备的电容器出现诸如漏电等缺陷，从而有效降低其所形成的显示屏出现诸如亮点、亮线等问题的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 互连通孔 复合层 衬底 金属层 两层 制备 制造 填充金属材料 两次刻蚀 漏电 过刻蚀 互连线 亮线 通孔 显示屏 互联 概率 申请 | ||
【主权项】：
1.一种制造电容器的方法，其特征在于，包括：制备包括有至少两层金属层的复合层衬底；在所述复合层衬底中分别形成具有不同深度的互连通孔；于所述互连通孔中填充金属材料形成互连线，以与所述至少两层金属层构成所述电容器。
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