[发明专利]用于和借助真空阀的优化的压力调节

摘要

本发明涉及用于和借助真空阀的优化的压力调节。阀系统有真空阀和调节控制单元，真空阀包括：阀座，带限定开口轴线的阀开口和围绕阀开口的第一密封表面；闭合阀开口的阀闭合件，带第二密封表面；驱动单元，联接阀闭合件，使阀闭合件限定可变，提供闭合位置。控制调节单元执行调节周期，其中在预先调节步骤中，阀闭合件移动到限定的实际预先调节位置；调节步骤，基于实际确定的控制变量和目标值执行闭合位置的特定变化。调节控制单元有更新功能，执行中：至少在一部分调节周期记录控制变量，导出实际调节廓线；实际调节廓线与参考调节廓线比较，导出调节偏差；修正实际预先调节位置；修正的预先调节位置设为调节周期的实际预先调节位置。

主权项

1.一种包括真空阀(10)和调节控制单元(11)的阀系统，所述真空阀(10)用于调节体积流或质量流和/或用于气密密封处理容积(1)，其中所述真空阀(10)包括：·阀座，所述阀座具有限定开口轴线(34)的阀开口(33)以及围绕所述阀开口(33)延伸的第一密封表面(35)；·阀闭合件(38)，所述阀闭合件(38)用于大致气密地闭合所述阀开口(33)，所述阀闭合件具有对应于所述第一密封表面(35)的第二密封表面；以及·驱动单元(40)，所述驱动单元(40)联接到所述阀闭合件(38)并且被配置成使得所述阀闭合件(38)：o能够以限定的方式变化和调整以提供相应的闭合位置；并且o能从打开位置(O)调整到闭合位置中并且能反向调整，在所述打开位置(O)中，所述阀闭合件(38)至少部分地释放所述阀开口(33)，在所述闭合位置中，所述第一密封表面(35)被按压到所述第二密封表面上并且使所述阀开口(33)以大致气密的方式闭合，其特征在于，所述控制调节单元(11)被配置成特别是多次执行具有针对所述阀闭合件(38)的预先调节步骤(53a)和随后调节步骤(53b)的调节周期，其中当执行所述调节周期时：·在所述预先调节步骤(53a)过程中，所述阀闭合件(38)通过所述驱动单元(40)的相应启动而移动，特别是从所述打开位置(O)移动到受所述调节控制单元(11)控制的限定的实际预先调节位置中；并且·在所述随后调节步骤(53b)过程中，通过基于工艺参数的实际确定的控制变量(12)以及目标值(13)来启动所述驱动单元(40)，根据所述实际预先调节位置执行所述闭合位置的特定变化或调整，特别是由此所述控制变量(12)能接近所述目标值(13)，其中能至少部分地预测因所述阀闭合件(38)的限定位置变化对所述控制变量(12)造成的影响，其中，所述调节控制单元(11)具有更新功能，所述更新功能被配置成使得在执行期间：·至少在所述调节周期的一部分期间记录所述控制变量(12)，并且基于此导出实际调节廓线(21，51)；·将所述实际调节廓线(21，51)与参考调节廓线比较，并且导出调节偏差；·根据导出的所述调节偏差的表现并基于对所述控制变量(12)的可至少部分预测的影响来修正所述实际预先调节位置；并且·将修正的所述预先调节位置设置和/或储存为所述调节周期的所述实际预先调节位置，其中，所述调节控制单元(11)被配置成使得能连续地执行所述更新功能，特别是在具有所述处理容积(1)的生产过程期间在多个调节周期中能连续地执行所述更新功能。