[发明专利]用于和借助真空阀的优化的压力调节

权利要求书

1.一种包括真空阀（10）和调节控制单元（11）的阀系统，所述真空阀（10）用于调节体积流或质量流和/或用于气密密封处理容积（1），其中所述真空阀（10）包括：

•阀座，所述阀座具有限定开口轴线（34）的阀开口（33）以及围绕所述阀开口（33）延伸的第一密封表面（35）；

•阀闭合件（38），所述阀闭合件（38）用于大致气密地闭合所述阀开口（33），所述阀闭合件具有对应于所述第一密封表面（35）的第二密封表面；以及

•驱动单元（40），所述驱动单元（40）联接到所述阀闭合件（38）并且被配置成使得所述阀闭合件（38）：

o能够以限定的方式变化和调整以提供相应的闭合位置；并且

o能从打开位置（O）调整到闭合位置中并且能反向调整，在所述打开位置（O）中，所述阀闭合件（38）至少部分地释放所述阀开口（33），在所述闭合位置中，所述第一密封表面（35）被按压到所述第二密封表面上并且使所述阀开口（33）以大致气密的方式闭合，

其特征在于，所述调节控制单元（11）被配置成执行具有针对所述阀闭合件（38）的预先调节步骤（53a）和随后调节步骤（53b）的调节周期，其中当执行所述调节周期时：

•在所述预先调节步骤（53a）过程中，所述阀闭合件（38）通过所述驱动单元（40）的相应启动而移动，移动到受所述调节控制单元（11）控制的限定的实际预先调节位置中；并且

•在所述随后调节步骤（53b）过程中，通过基于工艺参数的实际确定的控制变量（12）以及目标值（13）来启动所述驱动单元（40），根据所述实际预先调节位置执行所述闭合位置的特定变化或调整，其中能至少部分地预测因所述阀闭合件（38）的限定位置变化对所述控制变量（12）造成的影响，

其中，所述调节控制单元（11）具有更新功能，所述更新功能被配置成使得在执行期间：

•至少在所述调节周期的一部分期间记录所述控制变量（12），并且基于此导出实际调节廓线（21，51）；

•将所述实际调节廓线（21，51）与参考调节廓线比较，并且导出调节偏差；

•根据导出的所述调节偏差的表现并基于对所述控制变量（12）的可至少部分预测的影响来修正所述实际预先调节位置；并且

•将修正的所述实际预先调节位置设置和/或储存为所述调节周期的所述实际预先调节位置，

其中，所述调节控制单元（11）被配置成使得能连续地执行所述更新功能。

2.根据权利要求1所述的阀系统，其特征在于，所述更新功能被配置成使得：

•通过在执行第一调节周期或第一调节步骤期间记录所述控制变量（12）来产生和储存所述参考调节廓线；并且

•通过在执行第二调节周期或第二调节步骤期间记录所述控制变量（12）来导出所述实际调节廓线（21，51）。

3.根据权利要求1或2所述的阀系统，其特征在于，所述调节控制单元（11）被配置成使得通过在执行多个调节周期或多个调节步骤期间记录所述控制变量（12）来产生和储存所述参考调节廓线。

4.根据权利要求1所述的阀系统，其特征在于，所述调节控制单元（11）具有用于产生所述参考调节廓线的学习功能，其中所述学习功能被配置成使得在执行期间：

•为了进行与所述调节周期的期望操作对应的多次大致相同的调节周期，在相应调节周期的至少一个时间段内记录所述阀闭合件（38）的相应期望位置；并且

•参考所述调节周期的相应时间段，将用于所述阀闭合件（38）的记录的期望位置作为所述参考调节廓线储存。

5.根据权利要求1所述的阀系统，其特征在于，所述调节控制单元（11）被配置成使得所述实际预先调节位置被修正，使得利用修正的所述实际预先调节位置产生在方向和/或幅度方面以限定的方式抵消所述调节偏差的对所述控制变量（12）的影响。

6.根据权利要求1所述的阀系统，其特征在于，根据启动信号（5）的接收来启动或执行所述预先调节步骤（53a）。