[发明专利]石墨烯薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201810162626.0 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN108117063B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 葛水兵;杨勇 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 冯瑞;杨慧林 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨烯薄膜的制备方法，采用双频驱动的容性耦合等离子体源对氢气放电产生氢等离子体，利用所述氢等离子体在温度20‑80℃下还原氧化石墨烯薄膜得到石墨烯薄膜，氧化石墨烯薄膜的厚度为1‑30μm，氢气的流量为10‑30sccm，产生双频驱动的容性耦合等离子体源的上电极的射频频率为13.56‑60MHz，功率为0‑500W，下电极的射频频率为2‑27.12MHz，功率为0‑500W，氢气通过进气管与上电极的上极板连通，上极板上均布有若干小孔。本发明通过合理的控制氢等离子体的密度和能量，在低温条件下高效、无污染制备出具有良好的导电性能和透光性能的自支撑石墨烯。 | ||
| 搜索关键词： | 氢等离子体 氢气 石墨烯薄膜 制备 容性耦合等离子体 射频频率 上极板 电极 双频 还原氧化石墨烯 氧化石墨烯薄膜 含氧官能团 驱动 薄膜表面 导电性能 低温条件 进气方式 透光性能 进气管 石墨烯 下电极 自支撑 放电 均布 喷式 小孔 连通 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用双频驱动的容性耦合等离子体源对氢气放电产生氢等离子体，利用所述氢等离子体在20‑80℃下还原氧化石墨烯薄膜表面的含氧官能团，得到所述石墨烯薄膜，所述氧化石墨烯薄膜的厚度为1‑30μm，氢气的流量为10‑30sccm，其中，产生所述双频驱动的容性耦合等离子体源的上电极的射频频率为13.56‑60MHz，功率为0‑500W，下电极的射频频率为2‑27.12MHz，功率为0‑500W，所述氢气通过进气管(9)与上电极的上极板(2)连通，所述上极板(2)上均布有若干小孔，以使得所述氢气采用淋喷式进气方式产生所述氢等离子体。
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