[发明专利]沉积设备、显示装置的制造方法和通过该方法制造的显示装置

摘要

沉积设备包括沉积腔室、多个衬底支承部、多个掩模、旋转型沉积装置。多个衬底支承部在沉积腔室内以第一位置为中心彼此间以第一角度布置成放射形。多个掩模分别与固定在多个衬底支承部中的每个上的多个衬底相对。旋转型沉积装置包括旋转部、第一移动部、第二移动部、第一沉积源和第二沉积源，其中，旋转部定位在沉积腔室内，第一移动部和第二移动部彼此间成第二角度并且与旋转部结合，并且第一沉积源和第二沉积源分别与第一移动部和第二移动部结合并且分别与多个衬底中的两个衬底相对。

主权项

1.沉积设备，包括：沉积腔室；多个衬底支承部，所述多个衬底支承部在所述沉积腔室内以第一位置为中心彼此间以第一角度布置成放射形；多个掩模，所述多个掩模分别与固定至所述多个衬底支承部中的每个衬底支承部的多个衬底相对；以及旋转型沉积装置，所述旋转型沉积装置包括：旋转部，所述旋转部定位在所述沉积腔室内；第一移动部和第二移动部，所述第一移动部和所述第二移动部在彼此成第二角度的状态下结合至所述旋转部；以及第一沉积源和第二沉积源，所述第一沉积源和所述第二沉积源分别与所述第一移动部和所述第二移动部结合，并且分别与所述多个衬底中的两个衬底相对。