[发明专利]一种用于OLED阵列制造的正性光刻胶在审
申请号: | 201810121499.X | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN108363275A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 向文胜;张兵;赵建龙;朱坤;万阳;陆兰 | 申请(专利权)人: | 江苏艾森半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于光刻胶技术领域,涉及一种用于OLED阵列制造的正性光刻胶,20~25质量份的改性酚醛树脂、3~5质量份的光敏剂、80~100质量份的丙二醇甲醚醋酸酯、0.005~0.03质量份的溶剂和0.005~0.03质量份的流平剂;所述改性酚醛树脂是一种改性氟系酚醛树脂。本发明采用氟改性酚醛树脂为主体,由于产品含有氟,加强了产品的流平性能,涂布没有亮度不均和气泡,分辨率高,适用于目前6代OLED行业。 | ||
搜索关键词: | 质量份 改性酚醛树脂 正性光刻胶 酚醛树脂 丙二醇甲醚醋酸酯 光刻胶技术 亮度不均 流平性能 分辨率 氟改性 光敏剂 流平剂 溶剂 氟系 改性 制造 | ||
【主权项】:
1.一种用于OLED阵列制造的正性光刻胶,其特征在于配方包括:20~25质量份的改性酚醛树脂、3~5质量份的光敏剂、80~100质量份的丙二醇甲醚醋酸酯、0.005~0.03质量份的溶剂和0.005~0.03质量份的流平剂;所述改性酚醛树脂是一种具有如下结构的改性氟系酚醛树脂,
R1、R2、R3、R4是独立的包含C1~C6直链或支链烷基、C1~C6甲氧基、C1~C6乙氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基或硝基。
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