[发明专利]电极结构及电极结构的制作方法有效
申请号: | 201810121437.9 | 申请日: | 2018-02-06 |
公开(公告)号: | CN108399030B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 木村徹 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G06F3/044 | 分类号: | G06F3/044;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种电极结构,所述电极结构包括依次层叠设置的基板、氧化铟锡层、金属层;及设置在所述氧化铟锡层和金属层之间的金属氧化物粘着层。本发明还公开了一种电极结构的制作方法,包括提供基板;在所述基板上设置氧化铟锡层;在所述氧化铟锡层上设置金属氧化物粘着层;及在所述金属氧化物粘着层上设置金属层。本发明还公开了一种电极结构的制作方法,通过上述方式,以提高电极结构中氧化铟锡层与金属层间的粘着力。 | ||
搜索关键词: | 电极 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种电极结构,其特征在于,包括:依次层叠设置的基板、氧化铟锡层、金属层;及设置在所述氧化铟锡层和所述金属层之间的金属氧化物粘着层。
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