[发明专利]一种超精密检测用平台在审
| 申请号： | 201810116275.X | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN108278971A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 杨锦堂;邓凯 | 申请（专利权）人： | 杨锦堂 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 万桂斌 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及超精密检测技术领域，具体涉及一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有弱传递机构，所述弱传递机构为滑动平台传递，动力驱动装置提供的运动方向的驱动力，并减少为滑动平台提供非运动方向的驱动力，以限制固定平台与滑动平台之间沿非运动方向的相对位移。本发明的超精密检测用平台，能够有效减少或者避免滑动平台沿垂直于滑动平台方向上的跳动，进而提高滑动平台运动的稳定性，从而能够实现对被测零件的精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动平台 超精密检测 固定平台 滑块 传递机构 刚性连接 滑动机构 驱动力 滑轨 动力驱动装置 被测零件 滑轨滑动 上下对应 相对位移 有效减少 跳动 测量 垂直 传递 | ||
【主权项】：
1.一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有弱传递机构，所述弱传递机构为滑动平台传递，动力驱动装置提供的运动方向的驱动力，并减少为滑动平台提供非运动方向的驱动力，以限制固定平台与滑动平台之间沿非运动方向的相对位移。
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