[发明专利]一种超精密检测用平台

权利要求书

1.一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有弱传递机构，所述弱传递机构为滑动平台传递，动力驱动装置提供的运动方向的驱动力，并减少为滑动平台提供非运动方向的驱动力，以限制固定平台与滑动平台之间沿非运动方向的相对位移。

2.根据权利要求1所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述弱传递机构包括直接传递机构和间接传到机构，动力驱动装置通过直接传递机构将驱动力传递给间接传递机构，间接传递机构带动滑动平台滑动。

3.根据权利要求2所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述直接传递机构与固定平台和滑动平台之间均非接触设置，所述间接传递机构与滑动平台刚性连接，与固定平台之间留有间隔，直接传递机构和间接传递机构之间接触式设置或者非接触式设置。

4.根据权利要求3所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述直接传递机构和间接传递机构均为环柱状磁体，间接传递机构设置在直接传递机构的内环之中，且与直接传递机构的内环之间留有间隙，在平行于滑动平台的方向上，直接传递机构和间接传递机构之间磁力相斥或相吸设置。

5.根据权利要求3所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述直接传递机构和间接传递机构之间接触式设置，所述直接传递机构为弱连接机构，所述弱连接机构，沿滑动平台的运动方向，力的传递能力强，沿滑动平台的非运动方向，力的传递能力弱。

6.根据权利要求5所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述弱连接机构为弱连接薄片，弱连接薄片沿滑动平台的运动方向，刚性强，沿滑动平台的非运动方向，刚性弱；弱连接薄片上设置有与间接传递机构相适应的孔，间接传递机构设置在孔中，并与弱连接薄片形成接触。

7.根据权利要求5所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述弱连接机构为弱连接柱，弱连接柱沿滑动平台的运动方向，刚性强；沿滑动平台的非运动方向，刚性弱。

8.根据权利要求1-7中任一项权利要求所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有预紧力机构，所述预紧力机构包括长滑条和短滑条，所述长滑条与固定平台刚性连接，并且与滑轨并行设置；所述短滑条与滑块刚性连接，短滑条设置在长滑条的正上方，并且短滑条和长滑条之间留有间隙；短滑条和长滑条之间有磁力。

9.根据权利要求8所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有至少一个电磁线圈，所述电磁线圈均与固定平台刚性连接，或者均与滑动平台刚性连接，当电磁线圈固定在固定平台上时，电磁线圈与滑动平台之间磁力相吸或相斥；当电磁线圈固定在滑动平台上时，电磁线圈与固定平台之间磁力相吸或相斥。

10.根据权利要求8所述的超精密检测用平台，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有位移检测传感器，用于检测滑动平台与固定平台之间的相对位移。