[发明专利]一种超精密检测用平台

说明书

本发明涉及超精密检测技术领域，具体涉及一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有弱传递机构，所述弱传递机构为滑动平台传递，动力驱动装置提供的运动方向的驱动力，并减少为滑动平台提供非运动方向的驱动力，以限制固定平台与滑动平台之间沿非运动方向的相对位移。本发明的超精密检测用平台，能够有效减少或者避免滑动平台沿垂直于滑动平台方向上的跳动，进而提高滑动平台运动的稳定性，从而能够实现对被测零件的精确测量。

技术领域

本发明涉及超精密检测技术领域，具体涉及一种超精密检测用平台。

背景技术

在超精密检测技术领域中，对零件的尺寸和表面平整度进行检测时，通常将零件放置在滑台上，由动力驱动装置驱动滑动平台滑动，在滑动过程中，滑动平台带动零件经过非接触式传感器，从而实现对零件垂直于滑动平台上的尺寸和表面平整度的检测。因此，为了实现精确测量，被检测的物体在运动过程中，位置要尽可能地稳定。如果滑动平台在运动过程中，位置不稳定，上下跳动，运动轨迹的直线度或者平整度不好，滑动平台在竖直方向上的位移会通过零件传递给传感器，最终导致零件在测量的尺寸上有误差，影响测量的精确度。

通常导致上述问题出现的原因主要有两方面，一方面由于导轨与滑块之间存在运动间隙，导致滑块在沿导轨运动时，会在局部产生上下跳动；另一方面是由于动力驱动装置提供的驱动力是不稳定的，例如丝杠丝杆机构，电机驱动丝杆旋转，从而带动丝杠做直线运动，但是由于螺距的存在，在丝杆转动的每一圈中都是有波动的，从精密测量的角度来看，其实，传递到被测物体上是波浪型的运动，而不是直线型。由于上述两方面问题的存在，滑动平台在垂直于滑台方向上的位移导致了被检测物体在运动过程中位置不稳定，进而影响了传感器的测量结果出现误差。

发明内容

为了克服由于动力驱动装置提供的驱动力存在上下波动而引起测量误差的问题，本发明提供一种超精密检测用平台，通过在固定平台和滑动平台之间设置弱传递机构，弱传递机构能够有效传递滑台运动方向上的驱动力，尽可能小或者避免传递非运动方向上的扰动，能够提高滑动平台的运动的稳定性，进而提高检测精度。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有弱传递机构，所述弱传递机构为滑动平台传递，动力驱动装置提供的运动方向的驱动力，并减少为滑动平台提供非运动方向的驱动力，以限制固定平台与滑动平台之间沿非运动方向的相对位移。

进一步地，所述弱传递机构包括直接传递机构和间接传到机构，动力驱动装置通过直接传递机构将驱动力传递给间接传递机构，间接传递机构带动滑动平台滑动。

进一步地，所述直接传递机构与固定平台和滑动平台之间均非接触设置，所述间接传递机构与滑动平台刚性连接，与固定平台之间留有间隔，直接传递机构和间接传递机构之间接触式设置或者非接触式设置。

进一步地，所述直接传递机构和间接传递机构均为环柱状磁体，间接传递机构设置在直接传递机构的内环之中，且与直接传递机构的内环之间留有间隙，在平行于滑动平台的方向上，直接传递机构和间接传递机构之间磁力相斥或相吸设置。

进一步地，所述直接传递机构和间接传递机构之间接触式设置，所述直接传递机构为弱连接机构，所述弱连接机构，沿滑动平台的运动方向，力的传递能力强，沿滑动平台的非运动方向，力的传递能力弱。

进一步地，所述弱连接机构为弱连接薄片，弱连接薄片沿滑动平台的运动方向，刚性强，沿滑动平台的非运动方向，刚性弱；弱连接薄片上设置有与间接传递机构相适应的孔，间接传递机构设置在孔中，并与弱连接薄片形成接触。