[发明专利]一种基于显示面板的薄膜间隙的检测装置以及方法有效
申请号: | 201810114708.8 | 申请日: | 2018-02-05 |
公开(公告)号: | CN108362213B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 刘圣 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请提出了一种基于显示面板的薄膜间隙的检测装置以及检测方法。该检测装置包括:激光光源、聚焦透镜、样品移动装置以及数据采集装置;其中,聚焦透镜设置于激光光源的光线传输路径上,样品移动装置用于放置待检测显示面板,与聚焦透镜的出光面与显示面板覆盖薄膜层的一侧相对设置,以使薄膜层接收激光光源发射的经聚焦透镜聚焦的激光后,将激光散射透过薄膜层到基板下表面的激光束,并通过基板下表面反射透过薄膜层,而在薄膜层上形成光圈;数据采集装置用于采集光圈的图像信息,并判断光圈是否存在暗点以确定薄膜层与基板之间是否存在间隙。使用上述检测装置,有利于快速、无损地检测显示面板的薄膜和基板之间是否存在空气间隙。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 显示 面板 薄膜 间隙 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于显示面板的薄膜间隙的检测装置,所述显示面板包括器件层以及覆盖在所述器件层基板表面的薄膜层,其特征在于,所述检测装置包括:激光光源、聚焦透镜、样品移动装置以及数据采集装置;其中,所述聚焦透镜设置于所述激光光源的光线传输路径上,所述样品移动装置用于放置待检测显示面板,与所述聚焦透镜的出光面与所述显示面板覆盖所述薄膜层的一侧相对设置,以使所述薄膜层接收所述激光光源发射的经所述聚焦透镜聚焦的激光后,将所述激光散射透过所述薄膜层到所述基板下表面的激光束,并通过所述基板下表面反射透过所述薄膜层,而在所述薄膜层上形成光圈;所述数据采集装置用于采集所述光圈的图像信息,并判断所述光圈是否存在暗点以确定所述薄膜层与所述基板之间是否存在间隙。
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