[发明专利]一种基于显示面板的薄膜间隙的检测装置以及方法有效
| 申请号: | 201810114708.8 | 申请日: | 2018-02-05 |
| 公开(公告)号: | CN108362213B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
| 发明(设计)人: | 刘圣 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 显示 面板 薄膜 间隙 检测 装置 以及 方法 | ||
1.一种基于显示面板的薄膜间隙的检测装置,所述显示面板包括器件层以及覆盖在所述器件层基板表面的薄膜层,其特征在于,所述检测装置包括:
激光光源、聚焦透镜、样品移动装置以及数据采集装置;其中,所述聚焦透镜设置于所述激光光源的光线传输路径上,所述样品移动装置用于放置待检测显示面板,所述聚焦透镜的出光面与所述显示面板覆盖所述薄膜层的一侧相对设置,以使所述薄膜层接收所述激光光源发射的经所述聚焦透镜聚焦的激光后,将所述激光散射透过所述薄膜层到所述基板下表面的激光束,并通过所述基板下表面反射透过所述薄膜层,而在所述薄膜层上形成光圈;
所述激光散射透过所述薄膜层到所述基板下表面的激光束中,与所述激光的入射方向的夹角大于发生全反射的临界角的激光束在所述基板下表面发生全反射,与所述激光的入射方向的夹角小于发生全反射的临界角的激光束在所述基板下表面发生反射和折射;
所述数据采集装置用于采集所述光圈的图像信息,并判断所述光圈是否存在暗点以确定所述薄膜层与所述基板之间是否存在间隙。
2.根据权利要求1所述检测装置,其特征在于,所述样品移动装置的移动速率与所述数据采集装置的图像采集频率相一致。
3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述数据采集装置具体用于采集形成在所述薄膜层背向所述基板一侧的明暗相间的圆环光圈的图像信息,并判断所述光圈是否存在暗点以确定所述薄膜层与所述基板之间是否存在间隙,其中,所述薄膜层的折射率大于空气的折射率。
4.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述明暗相间的圆形光圈为同心圆环光圈。
5.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述待检测显示面板纵向移动大小为最大亮区光环的直径大小。
6.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述数据采集装置包括相互耦接的探测器以及图像采集卡,所述探测器用于对所述光圈进行实时拍照,所述图像采集卡用于接收所述探测器拍摄的光圈的图像信息,并将所述图像信息发送至外界控制器以判断所述光圈是否存在暗点。
7.根据权利要求6所述检测装置,其特征在于,所述探测器为电荷耦合元件CCD探测器或激光摄像头中的任一种。
8.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述激光光源包括激光器或激光笔中的任一种。
9.一种基于显示面板的薄膜间隙的检测方法,所述显示面板包括器件层以及覆盖在所述器件层的基板表面的薄膜层,所述检测方法包括:
通过聚焦透镜对激光光源产生的激光聚焦到待检测显示面板覆盖所述薄膜层的一侧表面上,以使所述薄膜层接收所述激光光源发射的经所述聚焦透镜聚焦的激光后,将所述激光散射透过所述薄膜层到所述基板下表面的激光束,并通过所述基板下表面反射透过所述薄膜层,而在所述薄膜层上形成光圈;其中所述聚焦透镜设置于所述激光光源的光线传输路径上,所述待检测显示面板放置于样品移动装置上;
通过数据采集装置采集所述光圈的图像信息,并判断所述光圈是否存在暗点以确定所述薄膜层与所述基板之间是否存在间隙。
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