[发明专利]基板保持旋转装置及具备该装置的基板处理装置及方法

摘要

基板保持旋转装置中，第一销组所含的各可动销的支撑部设为，能够在保持位置所含的第一和第二保持位置之间移动，且能够在第一和第二保持位置与远离旋转轴线的开放位置之间移动，第一保持位置是接近旋转轴线的规定的位置，第二保持位置在周方向的一方与第一保持位置相隔离；第二销组所含的各可动销的支撑部被设为，能够在接近旋转轴线的保持位置与远离旋转轴线的开放位置之间移动；在第一销组所含的各可动销的支撑部位于保持位置，且第二销组所含的各可动销的支撑部位于开放位置的情况下，能够由第一销组所含的各可动销支撑基板；第一销组所含的各可动销的支撑部，一边维持位于保持位置的状态一边在第一保持位置与第二保持位置之间沿周方向移动。

主权项

1.一种基板保持旋转装置，一边将基板保持为水平，一边使所述基板围绕沿着铅垂方向延伸的规定的旋转轴线旋转，其特征在于，包括：多个可动销，沿着以所述旋转轴线为中心的圆周排列，并且分别具有支撑部，所述支撑部通过与基板的周缘部接触来支撑基板，旋转单元，使所述多个可动销围绕所述旋转轴线旋转；所述多个可动销包括：第一销组，至少包括3个可动销，第二销组，至少包括3个可动销；所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在保持位置所包括的第一保持位置和所述保持位置所包括的第二保持位置之间移动，并且能够在所述第一和第二保持位置与远离所述旋转轴线的开放位置之间移动，所述第一保持位置是接近所述旋转轴线的规定的位置，所述第二保持位置接近所述旋转轴线并且在周方向的一方与所述第一保持位置相隔离，所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在接近所述旋转轴线的所述保持位置与远离所述旋转轴线的所述开放位置之间移动，在所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第一销组所含的各可动销支撑基板，所述基板保持旋转装置还包括第一移动单元，所述第一移动单元使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，一边维持位于所述保持位置的状态一边在所述第一保持位置与所述第二保持位置之间沿周方向移动。