[发明专利]基板保持旋转装置及具备该装置的基板处理装置及方法

权利要求书

1.一种基板保持旋转装置，一边将基板保持为水平，一边使所述基板围绕沿着铅垂方向延伸的规定的旋转轴线旋转，其特征在于，包括：

多个可动销，沿着以所述旋转轴线为中心的圆周排列，并且分别具有支撑部，所述支撑部通过与基板的周缘部接触来支撑基板，

旋转单元，使所述多个可动销围绕所述旋转轴线旋转；

所述多个可动销包括：

第一销组，至少包括3个可动销，

第二销组，至少包括3个可动销；

所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在保持位置所包括的第一保持位置和所述保持位置所包括的第二保持位置之间移动，并且能够在所述第一保持位置和所述第二保持位置与远离所述旋转轴线的开放位置之间移动，所述第一保持位置是接近所述旋转轴线的规定的位置，所述第二保持位置接近所述旋转轴线并且在周方向的一方与所述第一保持位置相隔离，

所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，能够在接近所述旋转轴线的所述保持位置与远离所述旋转轴线的所述开放位置之间移动，

在所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第一销组所含的各可动销支撑基板，

所述基板保持旋转装置还包括第一移动单元，所述第一移动单元使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，一边维持位于所述保持位置的状态一边在所述第一保持位置与所述第二保持位置之间沿周方向移动。

2.如权利要求1所述的基板保持旋转装置，其特征在于，

所述第一移动单元包括第一周方向移动单元，所述第一周方向移动单元使所述第一销组所含的各可动销，在第一周方向位置与第二周方向位置之间移动，所述第二周方向位置在周方向的所述一方与所述第一周方向位置相隔离，

所述第一保持位置，是所述第一销组所含的各可动销位于所述第一周方向位置时的所述支撑部的所述保持位置，

所述第二保持位置，是所述第一销组所含的各可动销位于所述第二周方向位置时的所述支撑部的所述保持位置。

3.如权利要求2所述的基板保持旋转装置，其特征在于，

所述基板保持旋转装置还包括：

旋转基座，与所述旋转单元相连结，

销支撑构件，对所述第一销组所含的各可动销进行支撑，能够随着所述旋转基座一起旋转，并且能够相对于所述旋转基座相对转动；

所述第二销组所含的各可动销能够随着所述旋转基座一起旋转，

所述第一周方向移动单元还包括转动单元，所述转动单元使所述销支撑构件相对于所述旋转基座而围绕所述旋转轴线相对转动。

4.如权利要求1所述的基板保持旋转装置，其特征在于，

在所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述保持位置，并且所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部位于所述开放位置的情况下，能够由所述第二销组所含的各可动销支撑基板，

所述基板保持旋转装置还包括：

第二移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，在所述开放位置与所述保持位置之间移动，

控制装置，用于对所述第一移动单元以及所述第二移动单元进行控制；

所述控制装置执行如下工序：

第一周方向移动工序，在所述第一销组所含的各可动销位于所述保持位置，并且所述第二销组所含的各可动销位于所述开放位置的状态下，通过所述第一移动单元，使所述第一销组所含的各可动销的所述支撑部，在周方向上从所述第一保持位置移动到所述第二保持位置，

第一移动工序，在所述第一周方向移动工序结束后，通过所述第二移动单元，使所述第二销组所含的各可动销的所述支撑部，从所述开放位置移动到所述保持位置。