[发明专利]涂敷装置和涂敷方法有效
| 申请号： | 201810100699.7 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN108372079B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 三根阳介;宫崎一仁 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制质量测量器的破损的涂敷装置。在基片上描绘功能液的描绘图案的涂敷装置，其包括：保持上述基片的基片保持部；液滴排出部，其向保持于上述基片保持部的上述基片排出上述功能液的液滴；移动部，其使上述基片保持部与上述液滴排出部在主扫描方向和副扫描方向相对地移动，质量测量部，其包含接收由上述液滴排出部排出的液滴的杯和对存积在上述杯的内部的上述功能液的质量进行测量的质量测量器；和排液部，其将存积在上述杯的内部的上述功能液从上述杯排出。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷装置，其在基片上描绘功能液的描绘图案，所述涂敷装置的特征在于，包括：保持所述基片的基片保持部；液滴排出部，其向保持于所述基片保持部的所述基片排出所述功能液的液滴；移动部，其使所述基片保持部与所述液滴排出部在主扫描方向和副扫描方向相对地移动，质量测量部，其包括接收由所述液滴排出部排出的液滴的杯和对存积在所述杯的内部的所述功能液的质量进行测量的质量测量器；和排液部，其将存积在所述杯的内部的所述功能液从所述杯排出。
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