[发明专利]涂敷装置和涂敷方法

说明书

本发明提供一种能够抑制质量测量器的破损的涂敷装置。在基片上描绘功能液的描绘图案的涂敷装置，其包括：保持上述基片的基片保持部；液滴排出部，其向保持于上述基片保持部的上述基片排出上述功能液的液滴；移动部，其使上述基片保持部与上述液滴排出部在主扫描方向和副扫描方向相对地移动，质量测量部，其包含接收由上述液滴排出部排出的液滴的杯和对存积在上述杯的内部的上述功能液的质量进行测量的质量测量器；和排液部，其将存积在上述杯的内部的上述功能液从上述杯排出。

技术领域

本发明涉及涂敷装置和涂敷方法。

背景技术

在现有技术中，已知作为利用有机EL(Electroluminescence)发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用了有机发光二极管的有机EL显示器，不仅具有薄型轻质并且低耗电量的优点，而且还具有在响应速度、视场角、对比度等方面优越等的优点。因此，近年来，作为新一代的平板显示器(FPD)引人注目。

有机发光二极管包括：形成在基片上的阳极；以阳极为基准设置于基片的背面侧的阴极；和设置在阳极与阴极之间的有机层。有机层例如从阳极侧向阴极侧去依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层。在发光层等的形成中，可以使用喷射方式的涂敷装置。

专利文献1中记载的涂敷装置包括：接收从功能液滴喷头排出的功能液的接收容器；和对存积在接收容器的内部的功能液的质量进行测量的电子天平。电子天平的测量结果被用于功能液滴喷头的驱动电力(电压值)的调整。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－177262号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

在现有技术中，将从喷头排出的功能液盛满接收杯时，通过手动作业进行杯的交换，此时，在电子天平等的质量测量器上负载增加，质量测量器可能会发生破损。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制质量测量器的破损的涂敷装置。

用于解决技术问题的技术方案

为解决上述课题，根据本发明的一个方面提供了一种涂敷装置，其在基片上描绘功能液的描绘图案，上述涂敷装置的特征在于，包括：

保持上述基片的基片保持部；

液滴排出部，其向保持于上述基片保持部的上述基片排出上述功能液的液滴；

移动部，其使上述基片保持部与上述液滴排出部在主扫描方向和副扫描方向相对地移动，

质量测量部，其包括接收由上述液滴排出部排出的液滴的杯和对存积在上述杯的内部的上述功能液的质量进行测量的质量测量器；和

排液部，其将存积在上述杯的内部的上述功能液从上述杯排出。

发明效果

根据本发明的一个方面，能够提供一种能够抑制质量测量器的破损的涂敷装置。

附图说明

图1是表示一个实施方式的有机EL显示器的平面图。

图2是表示一个实施方式的有机EL显示器的主要部分的截面图。

图3是表示一个实施方式的有机发光二极管的制造方法的流程图。

图4是表示一个实施方式的形成有涂敷层的基片的截面图。

图5是表示将图4的涂敷层减压干燥后的基片的截面图。

图6是表示一个实施方式的基片处理系统的平面图。