[发明专利]涂敷装置和涂敷方法

权利要求书

1.一种涂敷装置，其在基片上描绘功能液的描绘图案，所述涂敷装置的特征在于，包括：

保持所述基片的基片保持部；

液滴排出部，其向保持于所述基片保持部的所述基片排出所述功能液的液滴；

移动部，其使所述基片保持部与所述液滴排出部在主扫描方向和副扫描方向相对地移动，

质量测量部，其包括接收由所述液滴排出部排出的液滴的杯和对存积在所述杯的内部的所述功能液的质量进行测量的电子天平；和

排液部，其将存积在所述杯的内部的所述功能液从所述杯排出，

所述排液部包括：

吸嘴，其被插入所述杯的内部来吸引存积在所述杯的内部的所述功能液；和

使所述吸嘴升降的升降机构，

所述涂敷装置还包括使所述吸嘴在副扫描方向滑动的滑动机构，

在所述杯的开口部设置有用于防止由所述液滴排出部从上方下落的液滴的反弹的多孔质体，

在所述滑动机构使所述吸嘴移动到所述杯的上方后，所述升降机构以使所述吸嘴与所述杯或所述多孔质体不接触的方式将所述吸嘴插入所述杯的内部。

2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：

所述移动部包括使所述基片保持部和所述质量测量部相对于基座在所述主扫描方向移动的主扫描方向移动部。

3.如权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于：

还包括在所述基座的所述主扫描方向的一端部的上方、在所述副扫描方向延伸的梁，

所述排液部设置在所述梁。

4.如权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于：

所述移动部还包括使所述液滴排出部相对于所述基座在所述副扫描方向移动的副扫描方向移动部，

所述副扫描方向移动部包括：在所述基座的上方、在所述副扫描方向延伸的导轨梁；和设置在所述导轨梁的导轨，

所述液滴排出部沿所述导轨移动，

所述排液部设置于所述导轨梁。

5.如权利要求1～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

所述液滴排出部排出多种所述功能液的液滴，

所述杯将多种所述功能液混合地存积，

所述吸嘴吸引由多种所述功能液混合地存积而成的液体。

6.如权利要求1～4中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

所述液滴排出部排出多种所述功能液的液滴，

所述杯将多种所述功能液按所述功能液的种类分开地存积，

所述吸嘴设置有多个，分别吸引预先设定的一种所述功能液。

7.一种涂敷方法，其特征在于：

使用权利要求1～4中任一项所述的涂敷装置，在所述基片上描绘所述功能液的描绘图案。

8.如权利要求7所述的涂敷方法，其特征在于：

所述功能液用于有机发光二极管的制造。