[发明专利]基板处理装置、其控制方法及计算机可读存储介质

摘要

本发明提供一种基板处理装置、其控制方法及计算机可读存储介质，通过较简易的结构抑制从喷嘴对基板排出处理液时的缺陷的发生。基板处理装置具备：喷嘴、配管部、阀、发动部、控制部以及检测部。喷嘴向基板排出处理液。配管部形成连接至喷嘴的处理液的流路。阀设置于配管部的途中部分，并改变配管部和喷嘴中的处理液的存在状态。发动部给予阀使阀进行动作的驱动力。控制部通过输出触发信号来通过发动部使阀进行动作。检测部检测特定状态。控制部根据输出触发信号的第一定时至检测部检测到特定状态的第二定时的实际动作时间与基准动作时间的关系，计算发动部所引起的阀的动作的动作速度所涉及的设定的变更量。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：喷嘴，其向基板排出处理液；配管部，其形成连接至所述喷嘴的所述处理液的流路；阀，其设置于所述配管部的途中部分，改变所述配管部和所述喷嘴中的所述处理液的存在状态；发动部，其给予所述阀使所述阀进行动作的驱动力；控制部，其输出触发信号来通过所述发动部使所述阀进行动作；以及检测部，其检测特定状态，所述控制部根据从输出所述触发信号的第一定时至所述检测部检测到所述特定状态的第二定时的实际动作时间与预先设定的基准动作时间的关系，计算所述发动部所引起的所述阀的动作的动作速度所涉及的设定的变更量。