[发明专利]加热装置和蒸镀机在审
| 申请号： | 201810076394.7 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108004511A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加热装置，用于对坩埚中的有机材料加热，包括：加热体，所述加热体包括收容槽，所述收容槽用于容纳所述坩埚，所述收容槽的槽壁内部形成一腔室；入液管道和出液管道，所述入液管道和所述出液管道均与所述腔室连通；第一存储罐，所述第一存储罐与所述腔室连通；以及第一加热器，所述第一加热器用于加热所述第一存储罐内的流体。本发明所述加热装置利用高温流体热传导的方式对坩埚内的有机材料加热，使有机材料一直处于循环加热的过程中，有效解决了目前点源坩埚纵向的问题，有效提高了有机材料的利用率，降低了生产成本。本发明还提供一种蒸镀机，包括上述加热装置和坩埚，所述坩埚位于收容槽内。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 蒸镀机 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，用于对坩埚中的材料加热，其特征在于，包括：加热体，所述加热体包括收容槽，所述收容槽用于容纳所述坩埚，所述收容槽的槽壁内部形成一腔室；入液管道和出液管道，所述入液管道和所述出液管道均与所述腔室连通；第一存储罐，所述第一存储罐与所述入液管道连通；以及第一加热器，所述第一加热器用于加热所述第一存储罐内的流体。
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