[发明专利]加热装置和蒸镀机

说明书

本发明提供一种加热装置，用于对坩埚中的有机材料加热，包括：加热体，所述加热体包括收容槽，所述收容槽用于容纳所述坩埚，所述收容槽的槽壁内部形成一腔室；入液管道和出液管道，所述入液管道和所述出液管道均与所述腔室连通；第一存储罐，所述第一存储罐与所述腔室连通；以及第一加热器，所述第一加热器用于加热所述第一存储罐内的流体。本发明所述加热装置利用高温流体热传导的方式对坩埚内的有机材料加热，使有机材料一直处于循环加热的过程中，有效解决了目前点源坩埚纵向的问题，有效提高了有机材料的利用率，降低了生产成本。本发明还提供一种蒸镀机，包括上述加热装置和坩埚，所述坩埚位于收容槽内。

技术领域

本发明涉及显示屏制造技术领域，特别涉及一种加热装置和蒸镀机。

背景技术

在目前照明和显示领域中，由于有机发光二极管又称为有机电激光显示(OrganicLight-Emitting Diode，OLED)本身的特点，如低启动电压，轻薄，自发光等特点，越来越多的被广泛研究用于开发照明产品以及面板行业中，以达到低能耗，轻薄和面光源等需求。

目前制备OLED比较成熟的工艺是使用小分子蒸镀方式，但目前蒸镀制程中，点源通常是采用圆柱形坩埚且加热丝为一段式加热，一段式加热会造成坩埚上端和下端温差的问题，材料有效使用范围在10％～80％之间，量产中会造成的大量的材料浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种加热装置，用于加热坩埚中的有机材料，避免材料浪费，节省成本。

本发明还提供一种蒸镀机。

本发明所述加热装置，用于对坩埚中的有机材料加热，包括：

加热体，所述加热体包括收容槽，所述收容槽用于容纳所述坩埚，所述收容槽的槽壁内部形成一腔室；

入液管道和出液管道，所述入液管道和所述出液管道均与所述腔室连通；

第一存储罐，所述第一存储罐与所述入液管道连通；

以及第一加热器，所述第一加热器用于加热所述第一存储罐内的流体。

其中，所述入液管道上设有第一阀门，所述第一阀门用于控制通过所述入液管道流入所述腔室内流体的流量，所述出液管道上设有第二阀门，所述第二阀门用于控制通过所述出液管道流出所述腔室内流体的流量。

其中，所述加热装置包括第二存储罐，所述腔室的流体经所述出液管道流向所述第二存储罐中。

其中，所述第二存储罐通过连接管道与所述第一存储罐连通，所述连接管道上设有第三阀门，所述第三阀门用于控制所述连接管道内的流体流量。

其中，所述加热装置包括第一温度探测仪和第二温度探测仪，所述第一温度探测仪用于探测和显示所述第一存储罐中流体的温度，所述第二温度探测仪设于所述出液管道上，用以探测和显示从所述腔室流出的流体的温度。

其中，所述加热装置包括第二加热器，所述第二加热器用于加热位于所述第二存储罐内的流体。

其中，所述入液管道、所述出液管道和所述连接管道均为保温管道。

其中，所述加热装置包括冷却器，所述冷却器用于冷却所述第一存储罐和所述第二存储罐内的流体。

其中，所述第一加热器和所述第二加热器包括电磁加热器或加热丝中的一种。

本发明所述蒸镀机，包括上述加热装置和坩埚，所述坩埚位于收容槽内。

本发明所述加热装置和蒸镀机利用高温流体热传导的方式对坩埚内的有机材料加热，使有机材料一直处于循环加热的过程中，不仅有效解决了目前点源坩埚纵向的问题，有效提高了有机材料的利用率，降低了生产成本，还避免了蒸镀制程中由于加热丝弯曲、短路或短路等问题造成设备宕机，提高了生产产能。