[发明专利]加热装置和蒸镀机在审
| 申请号： | 201810076394.7 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108004511A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热 装置 蒸镀机 | ||
1.一种加热装置，用于对坩埚中的材料加热，其特征在于，包括：
加热体，所述加热体包括收容槽，所述收容槽用于容纳所述坩埚，所述收容槽的槽壁内部形成一腔室；
入液管道和出液管道，所述入液管道和所述出液管道均与所述腔室连通；
第一存储罐，所述第一存储罐与所述入液管道连通；
以及第一加热器，所述第一加热器用于加热所述第一存储罐内的流体。
2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述入液管道上设有第一阀门，所述第一阀门用于控制通过所述入液管道流入所述腔室内流体的流量，所述出液管道上设有第二阀门，所述第二阀门用于控制通过所述出液管道流出所述腔室内流体的流量。
3.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括第二存储罐，所述腔室的流体经所述出液管道流向所述第二存储罐中。
4.如权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述第二存储罐通过连接管道与所述第一存储罐连通，所述连接管道上设有第三阀门，所述第三阀门用于控制所述连接管道内的流体流量。
5.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括第一温度探测仪和第二温度探测仪，所述第一温度探测仪用于探测和显示所述第一存储罐中流体的温度，所述第二温度探测仪设于所述出液管道上，用以探测和显示从所述腔室流出的流体的温度。
6.如权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括第二加热器，所述第二加热器用于加热位于所述第二存储罐内的流体。
7.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述入液管道、所述出液管道和所述连接管道均为保温管道。
8.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括冷却器，所述冷却器用于冷却所述第一存储罐和所述第二存储罐内的流体。
9.如权利要求1或7所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热器和所述第二加热器包括电磁加热器或加热丝中的一种。
10.一种蒸镀机，其特征在于，包括如权利要求1～9所述的加热装置和坩埚，所述坩埚位于收容槽内。
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