[发明专利]一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵

摘要

本发明涉及真空泵技术领域，且公开了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，包括泵体，泵体的顶部开设有进气口，泵体的内部开设有内室，内室的内部活动连接有转子，泵体的顶部位于进气口的一侧固定连接有导向阀盖，导向阀盖的底部固定连接有自重阀头，自重阀头的底部固定连接有密封圈，泵体的底部开设有第一出气口。该离子镀膜机配套用罗茨真空泵，通过设置输油管、油箱、冷却器和过滤器，通过第二油泵将油箱内的油经过冷却器并抽入输油管内，输油管上的出油孔将冷却后的油均匀的滴落在转子的外表面，油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均匀的分布在转子的表面上，不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流走。

主权项

1.一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，包括泵体(1)，其特征在于：所述泵体(1)的顶部开设有进气口(2)，所述泵体(1)的内部开设有内室(3)，所述内室(3)的内部活动连接有转子(4)，所述泵体(1)的顶部位于进气口(2)的一侧固定连接有导向阀盖(5)，所述导向阀盖(5)的底部固定连接有自重阀头(6)，所述自重阀头(6)的底部固定连接有密封圈(7)，所述泵体(1)的底部开设有第一出气口(8)，所述泵体(1)外壁的一侧开设有第二出气口(9)，所述进气口(2)的内部活动连接有输油管(10)，所述输油管(10)的一端延伸至内室(3)的内部，所述输油管(10)通过固定架(11)固定连接在内室(3)的内壁处，所述输油管(10)的一端贯穿第二出气口(9)的内部并与过滤器(12)的顶部固定连接，所述输油管(10)的另一端与冷却器(13)的一端固定连接，所述冷却器(13)的另一端通过第一管道(14)与油箱(15)的顶部固定连接，所述油箱(15)的底部通过第二管道(16)与过滤器(12)的底部固定连接。