[发明专利]一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵

说明书

本发明涉及真空泵技术领域，且公开了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，包括泵体，泵体的顶部开设有进气口，泵体的内部开设有内室，内室的内部活动连接有转子，泵体的顶部位于进气口的一侧固定连接有导向阀盖，导向阀盖的底部固定连接有自重阀头，自重阀头的底部固定连接有密封圈，泵体的底部开设有第一出气口。该离子镀膜机配套用罗茨真空泵，通过设置输油管、油箱、冷却器和过滤器，通过第二油泵将油箱内的油经过冷却器并抽入输油管内，输油管上的出油孔将冷却后的油均匀的滴落在转子的外表面，油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均匀的分布在转子的表面上，不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流走。

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，具体为一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵。

背景技术

罗茨真空泵是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵，罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业，也是离子镀膜机工作运行中尤其重要的工件。目前市场上的罗茨真空泵由于输送和压缩气体而产生热量，这些热量必须从转子传至壳体而散发，但在低压下，气体对热的传导和对流性能极差，致使转子吸收的热量不易散出，造成转子温度永远高于壳体的温度，一旦气体温度大于40℃，则会导致水环泵中的水发生蒸发，从而形成水蒸气而严重影响真空泵机组抽真空的效果，而现有的罗茨真空泵冷却技术多采用空气冷却法和冷水冷却法，冷却效果不佳且成本高昂。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，具备冷却效果好等优点，解决了现有设备冷却成本高昂的问题。

(二)技术方案

为实现上述冷却效果好的目的，本发明提供如下技术方案：一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，包括泵体，所述泵体的顶部开设有进气口，所述泵体的内部开设有内室，所述内室的内部活动连接有转子，所述泵体的顶部位于进气口的一侧固定连接有导向阀盖，所述导向阀盖的底部固定连接有自重阀头，所述自重阀头的底部固定连接有密封圈，所述泵体的底部开设有第一出气口，所述泵体外壁的一侧开设有第二出气口，所述进气口的内部活动连接有输油管，所述输油管的一端延伸至内室的内部，所述输油管通过固定架固定连接在内室的内壁处，所述输油管的一端贯穿第二出气口的内部并与过滤器的顶部固定连接，所述输油管的另一端与冷却器的一端固定连接，所述冷却器的另一端通过第一管道与油箱的顶部固定连接，所述油箱的底部通过第二管道与过滤器的底部固定连接。

优选的，所述转子的数量为两个，所述转子的规格相同。

优选的，所述第一出气口内壁的底部固定连接有冷却装置。

优选的，所述冷却装置包括冷却外壳，所述冷却外壳的内壁处固定连接有冷却水箱。

优选的，所述冷却外壳的中心处开设有冷却通道，所述冷却通道的内部固定连接有冷凝管。

优选的，所述输油管上开设有出油孔。

优选的，所述输油管上固定连接有第一油泵。

优选的，所述第一管道上固定连接有第二油泵。

优选的，所述第二管道上固定连接有第三油泵。

优选的，所述泵体底部位于第一出气口的两侧固定连接有支腿。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，具备以下有益效果：