[发明专利]一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵在审

申请号：	201810063527.7	申请日：	2018-01-23
公开（公告）号：	CN108278207A	公开（公告）日：	2018-07-13
发明（设计）人：	穆可刚	申请（专利权）人：	安徽银立方金属科技有限公司
主分类号：	F04C18/12	分类号：	F04C18/12;F04C25/02;F04C29/02;F04C29/04
代理公司：	苏州凯谦巨邦专利代理事务所(普通合伙) 32303	代理人：	丁剑
地址：	236000 安徽省阜阳***	国省代码：	安徽;34
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摘要：
搜索关键词：	转子泵体离子镀膜机罗茨真空泵输油管进气口内室导向阀盖冷却器自重阀油箱密封圈配套真空泵技术领域过滤器油泵活动连接有热量带走转子表面出气口出油孔滴落油滴油膜逆流冷却
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【权利要求书】：

1.一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，包括泵体(1)，其特征在于：所述泵体(1)的顶部开设有进气口(2)，所述泵体(1)的内部开设有内室(3)，所述内室(3)的内部活动连接有转子(4)，所述泵体(1)的顶部位于进气口(2)的一侧固定连接有导向阀盖(5)，所述导向阀盖(5)的底部固定连接有自重阀头(6)，所述自重阀头(6)的底部固定连接有密封圈(7)，所述泵体(1)的底部开设有第一出气口(8)，所述泵体(1)外壁的一侧开设有第二出气口(9)，所述进气口(2)的内部活动连接有输油管(10)，所述输油管(10)的一端延伸至内室(3)的内部，所述输油管(10)通过固定架(11)固定连接在内室(3)的内壁处，所述输油管(10)的一端贯穿第二出气口(9)的内部并与过滤器(12)的顶部固定连接，所述输油管(10)的另一端与冷却器(13)的一端固定连接，所述冷却器(13)的另一端通过第一管道(14)与油箱(15)的顶部固定连接，所述油箱(15)的底部通过第二管道(16)与过滤器(12)的底部固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述转子(4)的数量为两个，所述转子(4)的规格相同。

3.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述第一出气口(8)内壁的底部固定连接有冷却装置(17)。

4.根据权利要求3所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述冷却装置(17)包括冷却外壳(171)，所述冷却外壳(171)的内壁处固定连接有冷却水箱(172)。

5.根据权利要求4所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述冷却外壳(171)的中心处开设有冷却通道(173)，所述冷却通道(173)的内部固定连接有冷凝管(174)。

6.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述输油管(10)上开设有出油孔(18)。

7.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述输油管(10)上固定连接有第一油泵(19)。

8.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述第一管道(14)上固定连接有第二油泵(20)。

9.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述第二管道(16)上固定连接有第三油泵(21)。

10.根据权利要求1所述的一种离子镀膜机配套用罗茨真空泵，其特征在于：所述泵体(1)底部位于第一出气口(8)的两侧固定连接有支腿(22)。

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