[发明专利]一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法在审
| 申请号： | 201810060267.8 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108107686A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘扬 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法，可解决现状无法对DMD显示的图形进行实时观测的技术问题。包括有数据处理板卡和DMD显示模块，数据处理板卡和DMD显示模块之间通过刚挠结合板连接，还包括光源输入通路的放大镜头、LED光源，所述放大镜头包含光源通路，调焦旋钮，调倍率旋钮。本发明解决了直写光刻设备研发过程中对于DMD显示图形进行实时投影观察的需求；数据接口涵盖了常用的高速传输接口，在满足数据传输速率的前提下，兼容性更强。实现了图形的旋转、局部放大、调焦、调节放大倍率等功能；选用LED光源，可以满足在较强环境光下的清晰投影显示。在同样的亮度下LED光源比传统的汞灯光源耗能更少，发热量更小，辐射更少。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻设备 直写 实时观测装置 数据处理板卡 放大镜头 显示模块 观测 高速传输接口 发热量 刚挠结合板 调焦旋钮 放大倍率 汞灯光源 光源通路 强环境光 实时观测 实时投影 输入通路 数据传输 数据接口 投影显示 显示图形 传统的 兼容性 调焦 耗能 旋钮 研发 光源 涵盖 辐射 清晰 观察 | ||
【主权项】：
1.一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：包括有数据处理板卡（1）和DMD显示模块（3），数据处理板卡（1）和DMD显示模块（3）之间通过刚挠结合板（2）连接，还包括光源输入通路的放大镜头（4）、LED光源（5），所述放大镜头（4）包含光源通路（12），调焦旋钮（13），调倍率旋钮（14），调焦旋钮（13）和调倍率旋钮（14）以旋钮的形式安装在光源通路(12)上 ；LED光源（5）发出的强光通过光源通路（12）以与DMD显示模块(3)呈66°的角度入射，当DMD显示模块上的需要显示的微镜以12°的角度偏转，将强光反射到放大镜头(4)中。
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