[发明专利]一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法

说明书

一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法，可解决现状无法对DMD显示的图形进行实时观测的技术问题。包括有数据处理板卡和DMD显示模块，数据处理板卡和DMD显示模块之间通过刚挠结合板连接，还包括光源输入通路的放大镜头、LED光源，所述放大镜头包含光源通路，调焦旋钮，调倍率旋钮。本发明解决了直写光刻设备研发过程中对于DMD显示图形进行实时投影观察的需求；数据接口涵盖了常用的高速传输接口，在满足数据传输速率的前提下，兼容性更强。实现了图形的旋转、局部放大、调焦、调节放大倍率等功能；选用LED光源，可以满足在较强环境光下的清晰投影显示。在同样的亮度下LED光源比传统的汞灯光源耗能更少，发热量更小，辐射更少。

技术领域

本发明涉及直写光刻设备图形的实时观测领域，具体涉及一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法。

背景技术

激光直写光刻设备是在IC（集成电路）和高精度PCB（印刷电路板）生产中的关键设备，其中DMD(数字微镜器件)是设备的核心部件。DMD显示图形的正确性直接影响制作出来的产品图形是否正确。但是长期以来对于DMD显示的观察都是通过曝光然后看曝光后的结果，这种方式低效且不能准确的定位问题点。缺少一种装置将激光直写光刻设备用到的DMD显示的图形实时的放大投影出来进行观察及验证，同时也可以作为激光直写光刻设备数据链路部分开发的平台来使用。

发明内容

本发明提出的一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法，可解决上述无法对DMD显示的图形进行实时观测的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置，包括有数据处理板卡和DMD显示模块，数据处理板卡和DMD显示模块之间通过刚挠结合板连接，还包括光源输入通路的放大镜头、LED光源，所述放大镜头包含光源通路，调焦旋钮，调倍率旋钮，调倍率旋钮，调焦旋钮和调倍率旋钮以旋钮的形式安装在光源通路上 ；

LED光源发出的强光通过光源通路以与DMD显示模块呈66°的角度入射，当DMD显示模块上的需要显示的微镜以12°的角度偏转，将强光反射到放大镜头中。

进一步的，所述数据处理板卡上包含有千兆网接口，USB3.0接口，万兆网接口，千兆网接口通过SGMII和RGMII的方式与主芯片进行连接，USB3.0接口通过GPIF II方式与主芯片进行连接，万兆网接口通过XAUI方式与主芯片进行连接。

进一步的，所述数据处理板卡的主芯片采用V5、V6或V7系列FPGA芯片。

进一步的，所述数据处理板卡还包括2个DDR3内存条，内存条通过PCB高速布线与主芯片进行连接。

进一步的，所述数据处理板卡还包括高速连接器，所述高速连接器与刚挠结合板相连接。

进一步的，所述数据处理板卡采用十六层PCB制作。

进一步的，所述刚挠结合板采用八层PCB制作。

进一步的，所述DMD显示模块采用十层PCB制作。

一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置的观测方法，包括以下步骤：

（1）将PC处理后的图形中间数据通过千兆网接口（6）或USB3.0接口（7）或万兆网接口（8）输入到数据处理板卡（1）；

（2）数据处理板卡（1）的主芯片（9）以XILINX的V5、V6或V7的FPGA芯片做为高速数据处理芯片，对输入装置内的数据进行复杂的处理后，通过刚挠结合板（2）输出到DMD显示模块（3）进行显示；