[发明专利]一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置及观测方法

权利要求书

1.一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：包括有数据处理板卡（1）和DMD显示模块（3），数据处理板卡（1）和DMD显示模块（3）之间通过刚挠结合板（2）连接，还包括光源输入通路的放大镜头（4）、LED光源（5），所述放大镜头（4）包含光源通路（12），调焦旋钮（13），调倍率旋钮（14），调焦旋钮（13）和调倍率旋钮（14）以旋钮的形式安装在光源通路(12)上 ；

LED光源（5）发出的强光通过光源通路（12）以与DMD显示模块(3)呈66°的角度入射，当DMD显示模块上的需要显示的微镜以12°的角度偏转，将强光反射到放大镜头(4)中。

2.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述数据处理板卡（1）上包含有千兆网接口（6），USB3.0接口（7），万兆网接口（8），千兆网接口（6）通过SGMII和RGMII的方式与主芯片（9）进行连接，USB3.0接口（7）通过GPIF II方式与主芯片（9）进行连接，万兆网接口（8）通过XAUI方式与主芯片（9）进行连接。

3.根据权利要求2所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述数据处理板卡（1）的主芯片（9）采用V5、V6或V7系列FPGA芯片。

4.根据权利要求3所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述数据处理板卡（1）还包括2个DDR3内存条（10），内存条（10）通过PCB高速布线与主芯片（9）进行连接。

5.根据权利要求4所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述数据处理板卡（1）还包括高速连接器（11），所述高速连接器（11）与刚挠结合板（2）相连接。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述数据处理板卡（1）采用十六层PCB制作。

7.根据权利要求6所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述刚挠结合板（2）采用八层PCB制作。

8.根据权利要求7所述的用于直写光刻设备图形的实时观测装置，其特征在于：所述DMD显示模块（3）采用十层PCB制作。

9.一种用于直写光刻设备图形的实时观测装置的观测方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将PC处理后的图形中间数据通过千兆网接口（6）或USB3.0接口（7）或万兆网接口（8）输入到数据处理板卡（1）；

（2）数据处理板卡（1）的主芯片（9）以XILINX的V5、V6或V7的FPGA芯片做为高速数据处理芯片，对输入装置内的数据进行复杂的处理后，通过刚挠结合板（2）输出到DMD显示模块（3）进行显示；

（3）将LED光源（5）发出的强光通过光源通路（12）引入到DMD显示模块（3）的表面，然后放大镜头（4）将DMD显示模块（3）显示的图形进行放大投影到幕布上；

（4）最后通过调整数据处理板卡（1）上的拨码开关做图形的旋转，调节镜头上的调焦旋钮（13）实现图形的局部放大及调焦功能，调节放大镜头上的调倍率旋钮（14）实现图形的放大倍率调整功能。