[发明专利]一种掩模板及其制作方法、显示基板在审
| 申请号： | 201810058877.4 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108277510A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 潘晟恺;熊腾青;乔永康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种掩模板及其制作方法、显示基板，涉及显示技术领域，为解决现有的形成掩模板的制作方法不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本的问题。所述掩模板的制作方法包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。本发明提供的掩模板的制作方法用于制作掩模板。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模板 制作 模版 凸台 底板 金属层 电铸工艺 区域形成 显示基板 绝缘性 生产工艺 良率 通孔 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板的制作方法，其特征在于，包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。
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