[发明专利]一种掩模板及其制作方法、显示基板

说明书

本发明公开一种掩模板及其制作方法、显示基板，涉及显示技术领域，为解决现有的形成掩模板的制作方法不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本的问题。所述掩模板的制作方法包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。本发明提供的掩模板的制作方法用于制作掩模板。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板及其制作方法、显示基板。

背景技术

目前，应用较为广泛的高精度掩模板一般采用二次光刻工艺制作，且制作的掩模板的精度能够达到3um左右，采用二次光刻工艺制作掩模板的过程包括：提供一基材，先对基材的其中一个表面进行光刻，形成较小尺寸的凹槽，然后在该较小尺寸的凹槽中涂布树脂覆膜，将该凹槽填满，接着对基材的另一个表面(与之前光刻的表面相对)进行光刻，并使得树脂覆膜露出，然后将树脂覆膜去除，以形成贯穿基材的过孔，从而完成掩模板的制作。

上述采用二次光刻工艺制作的掩模板虽然能够实现较高的精度，但是需要在基材的相对两面分别进行一次光刻工艺，不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模板及其制作方法、显示基板，用于解决现有的形成掩模板的制作方法不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的第一方面提供一种掩模板的制作方法，包括：

形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；

通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；

将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。

进一步地，形成所述模版的步骤包括：

提供一底板，所述底板包括基底和位于所述基底上的导电层；

利用3D打印技术，在所述导电层上形成多个独立的凸台。

进一步地，所述利用3D打印技术，在所述导电层上形成多个独立的凸台包括：

利用碳纤维树脂材料，采用3D打印设备在所述导电层上形成多个独立的凸台。

进一步地，所述凸台的侧面与所述导电层之间的夹角小于或等于90度。

进一步地，所述凸台为圆台、棱台、圆柱体、椭圆柱体或棱柱体。

进一步地，所述通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层的步骤具体包括：

将所述模版和电镀靶放置在盛装有电镀液的电镀池中；

将所述模版与直流电源的负极连接，并将所述电镀靶与所述直流电源的正极连接，通过所述直流电源为所述模版和所述电镀靶施加电信号；

在所述电信号的作用下，所述电镀液中的金属阳离子在所述模版上发生电沉积，以形成所述金属层。

基于上掩模板的制作方法的技术方案，本发明的第二方面提供一种掩模板，采用上述掩模板的制作方法制作。

进一步地，所述掩模板包括多个通孔。

进一步地，所述通孔的深度在5um-100um之间，所述通孔的侧壁与所述掩模板表面的夹角小于或等于90度。

基于上述掩模板的技术方案，本发明的第三方面提供一种显示基板，所述显示基板的有机发光层为采用上述掩模板制作得到。