[发明专利]一种柔性衬底及其制备方法、显示器件有效
| 申请号： | 201810051935.0 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN108447988B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 孙冰;刘金强;刘晓佳 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性衬底及其制备方法、显示器件，所述柔性衬底包括依次层叠的聚合物层和阻隔层；所述阻隔层包括含氧化钛成分的金属钛层以及至少一无机膜层。本发明公开的柔性衬底及其制备方法、显示器件，阻隔层包括含氧化钛成分的氧化钛层，一方面可作为水氧阻隔层、提高柔性衬底的水汽阻隔性能，另一方面可提高阻隔层的断裂变形率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 衬底 及其 制备 方法 显示 器件 | ||
【主权项】：
1.一种柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底包括依次层叠的聚合物层和阻隔层；所述阻隔层包括含钛的氧化物成分的金属钛层以及至少一无机膜层。
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