[发明专利]一种柔性衬底及其制备方法、显示器件有效

专利信息
申请号: 201810051935.0 申请日: 2018-01-19
公开(公告)号: CN108447988B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 孙冰;刘金强;刘晓佳 申请(专利权)人: 云谷(固安)科技有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 杨波
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种柔性衬底及其制备方法、显示器件,所述柔性衬底包括依次层叠的聚合物层和阻隔层;所述阻隔层包括含氧化钛成分的金属钛层以及至少一无机膜层。本发明公开的柔性衬底及其制备方法、显示器件,阻隔层包括含氧化钛成分的氧化钛层,一方面可作为水氧阻隔层、提高柔性衬底的水汽阻隔性能,另一方面可提高阻隔层的断裂变形率。
搜索关键词: 一种 柔性 衬底 及其 制备 方法 显示 器件
【主权项】:
1.一种柔性衬底,其特征在于,所述柔性衬底包括依次层叠的聚合物层和阻隔层;所述阻隔层包括含钛的氧化物成分的金属钛层以及至少一无机膜层。
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