[发明专利]一种柔性衬底及其制备方法、显示器件

权利要求书

1.一种柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底包括依次层叠的聚合物层和阻隔层；

所述阻隔层包括含钛的氧化物成分的金属钛层以及至少一无机膜层，所述金属钛层通过金属钛自钝化或者工艺氧化形成；

所述无机膜层包括第一无机膜层和第二无机膜层；

所述聚合物层包括第一聚合物层和第二聚合物层；

所述第一无机膜层位于所述第一聚合物层和所述金属钛层之间，所述第二无机膜层位于所述金属钛层和所述第二聚合物层之间。

2.根据权利要求1所述的一种柔性衬底，其特征在于，所述金属钛层上设有光学透过区域。

3.根据权利要求1所述的一种柔性衬底，其特征在于，所述第一无机膜层的组成成分和所述第二无机膜层的组成成分可以相同或者不同。

4.根据权利要求1所述的一种柔性衬底，其特征在于，所述第一聚合物层和所述第二聚合物层的材质包括聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯树脂或者聚酰亚胺。

5.一种显示器件，其特征在于，所述显示器件包括权利要求1-4任一所述的柔性衬底。

6.一种柔性衬底的制备方法，其特征在于，所述方法包括步骤：

在聚合物层上形成无机膜层；

在所述无机膜层上通过金属钛的自钝化或者工艺氧化形成含氧化钛成分的金属钛层。

7.根据权利要求6所述的一种柔性衬底的制备方法，其特征在于，所述在聚合物层上形成无机膜层包括步骤：

在聚合物层上形成无机氧化物的无机膜层；

所述在所述无机膜层上通过金属钛工艺氧化形成含氧化钛成分的金属钛层包括步骤：

磁控溅镀金属钛，高温退火后在所述无机膜层上形成含氧化钛成分的金属钛层。

8.根据权利要求6所述的一种柔性衬底的制备方法，其特征在于，所述在聚合物层上形成无机膜层包括步骤：

在聚合物层上形成无机非氧化物的无机膜层；

所述在所述无机膜层上通过金属钛工艺氧化形成含氧化钛成分的金属钛层包括步骤：

磁控溅镀氧化钛、金属钛以及氧化钛，在所述无机膜层上形成含氧化钛成分的金属钛层。

9.根据权利要求6所述的一种柔性衬底的制备方法，其特征在于，所述方法还包括步骤：

在所述金属钛层上蚀刻形成光学透过区域。