[发明专利]一种蒸发源以及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201810045487.3 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108004512A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 胡长奇;王梦帝 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸发源以及蒸镀装置，该蒸发源包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；蒸发箱包括顶板、底板、第一侧板、第二侧板、第一端板和第二端板；顶板朝向底板的一侧设有连接部，底板具有用于向背离顶板方向喷出气体的喷气孔组；坩埚包括坩埚本体和设于坩埚本体外侧的折边，折边上设有多个出气口，且坩埚本体通过折边与连接部滑动配合。该蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的方向发生变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板变形以及金属微粒附着在基板上形成的产品不良问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，用于蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；所述蒸发箱包括相对设置的顶板和底板、位于所述顶板和所述底板间且相对设置的第一侧板和第二侧板以及选择性开合的第一端板和第二端板；所述顶板朝向所述底板的一侧设有用于与所述坩埚滑动配合、以使所述坩埚可自所述第一端板和/或第二端板对应端部进出的连接部，所述底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组；所述坩埚包括具有开口朝向所述顶板的坩埚本体和设于所述坩埚本体外侧的折边，所述折边上设有多个出气口，且所述坩埚本体通过所述折边与所述连接部滑动配合；当所述第一端板和第二端板扣合时，所述坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室；所述加热单元置于所述蒸发箱内、且置于蒸发室外侧。
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