[发明专利]一种蒸发源以及蒸镀装置

说明书

本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸发源以及蒸镀装置，该蒸发源包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；蒸发箱包括顶板、底板、第一侧板、第二侧板、第一端板和第二端板；顶板朝向底板的一侧设有连接部，底板具有用于向背离顶板方向喷出气体的喷气孔组；坩埚包括坩埚本体和设于坩埚本体外侧的折边，折边上设有多个出气口，且坩埚本体通过折边与连接部滑动配合。该蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的方向发生变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板变形以及金属微粒附着在基板上形成的产品不良问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸发源以及蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光显示面板(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)是由多种功能层堆叠组成的发光器件。目前OLED的主要制作工艺是采用蒸镀技术制造，而蒸镀的具体操作为通过加热丝对材料进行加热，使得材料受热蒸发在基板表面成膜。

但是，传统的蒸镀方式中蒸镀装置内的蒸发孔为向上放置，玻璃基板在蒸发孔的上方，对于大尺寸基板或金属的掩膜来说，存在玻璃基板变形问题、掩膜板变形问题以及传送过程中掩膜滚轮之间摩擦产生微粒、微粒沉积在基板表面导致的产品不良问题。

发明内容

本发明提供了一种蒸发源以及蒸镀装置，上述蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的喷出方向发生了变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板变形以及金属微粒附着在基板上形成的产品不良问题。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种蒸发源，用于蒸镀装置，包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；

所述蒸发箱包括相对设置的顶板和底板、位于所述顶板和所述底板间且相对设置的第一侧板和第二侧板以及选择性开合的第一端板和第二端板；所述顶板朝向所述底板的一侧设有用于与所述坩埚滑动配合、以使所述坩埚可自所述第一端板和/或第二端板对应端部进出的连接部，所述底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组；

所述坩埚包括具有开口朝向所述顶板的坩埚本体和设于所述坩埚本体外侧的折边，所述折边上设有多个出气口，且所述坩埚本体通过所述折边与所述连接部滑动配合；当所述第一端板和第二端板扣合时，所述坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室；

所述加热单元置于所述蒸发箱内、且置于蒸发室外侧。

本发明提供一种蒸发源，上述蒸发源包括蒸发箱、坩埚和加热单元，由于蒸发箱的底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组，则处于蒸镀腔室中的蒸发箱的喷气口组朝向蒸镀腔室的底部；此外，由于蒸发箱内的第一端板和第二端板具有两个工位，则当第一端板和/或第二端板为打开状态时，坩埚可通过折边与设于蒸发箱内的连接部滑动配合自第一端板和/或第二端板对应的端部出入蒸发箱，从而操作工可实现对坩埚本体内物料的填充与更换；当第一端板和第二端板为扣合状态时，由于加热箱内坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室，则填充于坩埚内的物料蒸发产生有机蒸气后，有机蒸气可通过折边上的出气口导出蒸发室并进入蒸发室外侧与蒸发箱内壁形成的空间内，之后通过蒸发箱底板上的喷气孔组喷出并对基板进行镀膜。需要说明的是，置于蒸发箱与蒸发室之间的加热单元实现了对将要从喷气孔组喷出的有机蒸气的加热作用，使得气体在流动过程中不存在冷区，不会出现在蒸发箱内的凝结现象，利于气体在沿流动路径流动过程中平稳流动，材料利用率更高。