[发明专利]一种蒸发源以及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸发源，用于蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；

所述蒸发箱包括相对设置的顶板和底板、位于所述顶板和所述底板间且相对设置的第一侧板和第二侧板以及选择性开合的第一端板和第二端板；所述顶板朝向所述底板的一侧设有用于与所述坩埚滑动配合、以使所述坩埚可自所述第一端板和/或第二端板对应端部进出的连接部，所述底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组；

所述坩埚包括具有开口朝向所述顶板的坩埚本体和设于所述坩埚本体外侧的折边，所述折边上设有多个出气口，且所述坩埚本体通过所述折边与所述连接部滑动配合；当所述第一端板和第二端板扣合时，所述坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室；

所述加热单元置于所述蒸发箱内、且置于蒸发室外侧。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述连接部包括设于所述蒸发箱顶板的钩块，所述钩块包括沿所述顶板到底板方向延伸的连接区以及与所述连接区延伸方向垂直、用于与所述坩埚的折边滑动配合的承载区，所述坩埚的折边搭接于所述承载区朝向所述顶板一侧，且所述坩埚上的多个所述出气孔设于所述折边未与所述承载区搭接部分。

3.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括用于冷却所述蒸发箱的冷却单元；

所述冷却单元置于所述蒸发箱的外侧，且所述冷却单元包括用于支撑并冷却所述蒸发箱底板的底部冷却单元；所述底部冷却单元通过连接组件与所述蒸镀装置中的蒸镀腔室可拆卸连接；所述底部冷却单元具有开缝，用以使所述喷气孔组自所述开缝伸出、朝向所述蒸镀腔室底部方向。

4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却单元还包括用于冷却所述蒸发箱顶板的顶部冷却单元、用于冷却所述第一侧板的第一侧部冷却单元以及用于冷却所述第二侧板的第二侧部冷却单元。

5.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却单元为水冷板。

6.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，还包括置于所述蒸发箱外侧的保温单元。

7.根据权利要求6所述的蒸发源，其特征在于，所述保温单元包括置于所述第一侧板与所述第一侧部冷却单元之间的第一侧部保温板、置于所述第二侧板与所述第二侧部冷却单元之间的第二侧部保温板、置于所述蒸发箱顶板与所述顶板冷却单元之间的顶部保温板以及置于所述蒸发箱底板与所述底部冷却单元之间的底部保温板。

8.根据权利要求7所述的蒸发源，其特征在于，所述底部冷却单元朝向所述蒸发箱的一侧设有固定块，所述底部保温板设有与所述固定块形状对应的长槽，以使所述固定块自所述长槽伸出支撑并固定所述蒸发箱。

9.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述加热单元包括置于所述第一侧边板朝向所述坩埚一侧的第一侧部加热板、置于所述第二侧边板朝向所述坩埚一侧的第二侧部加热板以及置于所述底板朝向所述坩埚一侧的底部加热板。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸镀腔室、置于所述蒸镀腔室内的承载平台以及置于所述蒸镀腔室内的如权利要求1-9任一项所述的蒸发源；

所述承载平台朝向所述蒸发源的一侧具有用于承载基板的承载面，所述承载平台背离所述承载面的一侧设有用于与所述蒸镀腔室的底部滑动配合以使所述承载平台可相对所述蒸镀腔室的底部滑动的滑动组件。

11.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔室还包括设于所述蒸镀腔室顶部的连接组件，所述蒸发源通过底部冷却单元与所述连接组件可拆卸连接。

12.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载平台的承载面设有用于固定所述基板的固定装置。