[发明专利]一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置

摘要

本发明公布了一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，它包括设在转盘上的气液清洗器；气液清洗器浸泡在内清洗池中；内清洗池外设置有环形清洗池；内清洗池与环形清洗池之间设置有过滤墙；气液清洗器包括盖板和底座；盖板和底座内部设有总气管；总气管通过连接软管连接；进气软管连接高压氮气供应系统；盖板和底座内壁上设置有进气孔和进液孔；进气孔连通总气管；盖板和底座外壁上设有导液叶片；底座内壁上设有放置凹槽；放置凹槽侧壁设有排出孔，排出孔连通总排出管，总排出管设置有分离管；分离管出口设置在环形清洗池内。它能实现一次对多个石英晶片进行均匀的气液清洗，污渍去除率高，清洗速度快，并使清洗后的石英晶片表面能快速干燥。

主权项

1.一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，它包括均匀呈环形设置在转盘（3）边缘的气液清洗器（1）；所述气液清洗器（1）浸泡在内清洗池（6）中；所述内清洗池（6）外围设置有环形清洗池（5）；所述内清洗池（6）与环形清洗池（5）之间设置有过滤墙（7）；所述转盘（3）中心设置有旋转轴（4）；所述旋转轴（4）连接电机（42）；所述旋转轴（4）设置在安装座（41）上；所述安装座（41）连接升降油缸（44）；所述气液清洗器（1）包括相互配合的盖板（11）和底座（12）；所述盖板（11）和底座（12）内部均设置有总气管（10）；两根所述的总气管（10）一端均密封，另一端口通过连接软管（22）相互连通；所述底座（12）上的总气管（10）还连通有进气软管（23）；所述进气软管（23）连接高压氮气供应系统；所述盖板（11）和底座（12）内壁上均匀设置有相互对应的进气孔（15）；所述进气孔（15）连通总气管（10）；所述进气孔（15）周围设置有贯穿内外壁的进液孔（9）；所述盖板（11）和底座（12）外壁上设置有导液叶片（8）；所述导液叶片（8）位于进液孔（9）侧边；所述底座（12）内壁上均匀设置有放置凹槽（13）；所述底座（12）上的进气孔（15）和进液孔（9）均设置在放置凹槽（13）底面上；所述盖板（11）上的进气孔（15）和进液孔（9）位于放置凹槽（13）上方；所述放置凹槽（13）两侧壁设置有排出孔（14），所述排出孔（14）连通总排出管（16），所述总排出管（16）一端密封，另一端设置有分离管（2）；所述分离管（2）出口设置在环形清洗池（5）内。/n