[发明专利]一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置

权利要求书

1.一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，它包括均匀呈环形设置在转盘（3）边缘的气液清洗器（1）；所述气液清洗器（1）浸泡在内清洗池（6）中；所述内清洗池（6）外围设置有环形清洗池（5）；所述内清洗池（6）与环形清洗池（5）之间设置有过滤墙（7）；所述转盘（3）中心设置有旋转轴（4）；所述旋转轴（4）连接电机（42）；所述旋转轴（4）设置在安装座（41）上；所述安装座（41）连接升降油缸（44）；所述气液清洗器（1）包括相互配合的盖板（11）和底座（12）；所述盖板（11）和底座（12）内部均设置有总气管（10）；两根所述的总气管（10）一端均密封，另一端口通过连接软管（22）相互连通；所述底座（12）上的总气管（10）还连通有进气软管（23）；所述进气软管（23）连接高压氮气供应系统；所述盖板（11）和底座（12）内壁上均匀设置有相互对应的进气孔（15）；所述进气孔（15）连通总气管（10）；所述进气孔（15）周围设置有贯穿内外壁的进液孔（9）；所述盖板（11）和底座（12）外壁上设置有导液叶片（8）；所述导液叶片（8）位于进液孔（9）侧边；所述底座（12）内壁上均匀设置有放置凹槽（13）；所述底座（12）上的进气孔（15）和进液孔（9）均设置在放置凹槽（13）底面上；所述盖板（11）上的进气孔（15）和进液孔（9）位于放置凹槽（13）上方；所述放置凹槽（13）两侧壁设置有排出孔（14），所述排出孔（14）连通总排出管（16），所述总排出管（16）一端密封，另一端设置有分离管（2）；所述分离管（2）出口设置在环形清洗池（5）内。

2.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述转盘（3）为空心壳体；所述转盘（3）底面设置有与各个气液清洗器（1）对应的连接孔（31）；所述连接孔（31）连接进气软管（23）；所述旋转轴（4）为空心轴；所述旋转轴（4）连通转盘（3）；所述旋转轴（4）上端通过旋转接头（43）连接高压氮气供应系统。

3.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述底座（12）尾端铰接在转盘（3）上；所述底座（12）尾端设置有固定螺栓（21）；所述转盘（3）上铰接有可挂住固定螺栓（21）的挂环（20）；所述转盘（3）侧壁设置有与固定螺栓（21）配合的螺纹孔（18）。

4.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述进液孔（9）内均设置有单向阀。

5.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述总排出管（16）设置在底座（12）内部两侧。

6.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述放置凹槽（13）底面上的进液孔（9）设置有四个；所述进液孔（9）均匀分布在进气孔（15）两侧；所述排出孔（14）设置在两进液孔（9）中间位置；所述导液叶片（8）设置有两排。

7.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述分离管（2）呈U型设置。

8.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述盖板（11）内壁上设置有环形密封框（17）；所述底座（12）上设置有与环形密封框（17）对应配合的环形凹槽。

9.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述盖板（11）和底座（12）尾端铰接相连，前端通过螺栓相互连接固定。

10.根据权利要求1所述的一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，其特征在于，所述气液清洗器（1）两侧壁为圆弧形状。