[发明专利]一种OLED背板及其制备方法

摘要

本发明提供一种OLED背板及其制备方法，该方法包括下述步骤：在玻璃基板上沉积缓冲层；在缓冲层上沉积第一金属层，图形化第一金属层，形成源极、漏极以及存储电容下电极；在缓冲层上沉积半导体层，且半导体层覆盖源极与漏极；在半导体层上沉积栅极绝缘层；在栅极绝缘层上沉积第二金属层，图形化第二金属层，形成栅极以及存储电容上电极；利用栅极自对准刻蚀栅极绝缘层和半导体层，将源极和漏极露出。本发明在制备OLED背板的过程中，可以减少所需的光罩，有效降低OLED背板的制作成本。

主权项

1.一种OLED背板的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：在玻璃基板上沉积缓冲层；在所述缓冲层上沉积第一金属层，图形化所述第一金属层，形成源极、漏极以及存储电容下电极；在所述缓冲层上沉积半导体层，且所述半导体层覆盖所述源极与所述漏极；在所述半导体层上沉积栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上沉积第二金属层，图形化所述第二金属层，形成栅极以及存储电容上电极；利用所述栅极自对准刻蚀所述栅极绝缘层和所述半导体层，将所述源极和所述漏极露出。