[发明专利]一种掩膜板有效
| 申请号： | 201810002735.6 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108004504B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 朱海彬;王伟杰;张峰杰;姜博 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种掩膜板，以提高掩膜板的第二支撑遮挡条和/或第一支撑遮挡条的边缘直线度以及像素位置遮挡精度，降低蒸镀阴影面积，实现对具有高像素密度的显示面板的高精度掩膜。所述掩膜板包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，所述第二支撑遮挡条和所述第一支撑遮挡条垂直交叉分布；其中，每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，所述第二支撑遮挡条与所述第一支撑遮挡条垂直交叉分布；其中，每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度，所述第一预设面为通过所述掩膜板进行掩膜蒸镀时，所述第二支撑遮挡条和所述第一支撑遮挡条的面向沉积材料的一面；所述减薄区域为一凹陷的条状台阶结构，所述台阶结构包括底面、与所述底面垂直连接且相对的第一侧面和第二侧面、以及连接所述第一侧面和所述第二侧面的第三侧面，其中，所述第一侧面与所述第二侧面相对，并垂直于该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向；所述减薄区域还设置有多个相互间隔的第一肋部，每一所述第一肋部的底端与所述台阶结构的所述第三侧面固定，并沿垂直于所述第三侧面的方向延伸，且所述第一肋部一侧面还与所述台阶结构的部分所述底面重叠。
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