[发明专利]一种掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，所述第二支撑遮挡条与所述第一支撑遮挡条垂直交叉分布；其中，

每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度，所述第一预设面为通过所述掩膜板进行掩膜蒸镀时，所述第二支撑遮挡条和所述第一支撑遮挡条的面向沉积材料的一面；

所述减薄区域为一凹陷的条状台阶结构，所述台阶结构包括底面、与所述底面垂直连接且相对的第一侧面和第二侧面、以及连接所述第一侧面和所述第二侧面的第三侧面，其中，所述第一侧面与所述第二侧面相对，并垂直于该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向；

所述减薄区域还设置有多个相互间隔的第一肋部，每一所述第一肋部的底端与所述台阶结构的所述第三侧面固定，并沿垂直于所述第三侧面的方向延伸，且所述第一肋部一侧面还与所述台阶结构的部分所述底面重叠。

2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括掩膜框架，每一所述第二支撑遮挡条以及每一所述第一支撑遮挡条具有与所述掩膜框架搭接的两个端部，以及位于两个所述端部之间的中间部；

在平行于所述第一方向上，所述第一支撑遮挡条的所述减薄区域的长度与该所述第二支撑遮挡条的所述中间部的长度相等；在平行于所述第二方向上，所述第二支撑遮挡条的所述减薄区域的长度与该所述第一支撑遮挡条的所述中间部的长度相等。

3.如权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一支撑遮挡条的所述减薄区域在垂直于所述第一方向上的宽度为0.5～5mm；所述第二支撑遮挡条的所述减薄区域在垂直于所述第二方向上的宽度为0.5～5mm。

4.如权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述减薄区域的厚度为该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条厚度的六分之一至三分之二。

5.如权利要求1-4任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述减薄区域在所述第一预设面的正投影为长方形或梯形。

6.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一肋部在垂直于所述第三侧面方向上的长度小于或等于所述台阶结构在垂直于所述第三侧面方向上的长度。

7.如权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述第一肋部的与所述第三侧面相对的顶端与所述台阶结构的与所述第三侧面相对的侧边的距离为0.1～3mm。

8.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一肋部在所述台阶结构的所述底面的正投影为梯形、方形、半圆形或半椭圆形。

9.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一肋部在沿该所述第一肋部所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条延伸方向上的宽度为1～6mm。

10.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条在平行于其延伸方向的一个侧边的预设位置还设置有用于遮挡具有U型凹槽显示面板的所述U型凹槽的U型凸出部。

11.如权利要求10所述的掩膜板，其特征在于，所述U型凸出部的面向沉积材料的表面在该所述U型凸出部的周边也设置所述减薄区域。

12.如权利要求11所述的掩膜板，其特征在于，所述U型凸出部包括一个或多个相互间隔的第二肋部，各所述第二肋部一端与所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条固定，并沿垂直于该所述U型凸出部所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸；所述U型凸出部设置有多个第二肋部时，相邻所述第二肋部之间也设置有减薄区域。