[发明专利]一种掩膜板

说明书

本申请提供一种掩膜板，以提高掩膜板的第二支撑遮挡条和/或第一支撑遮挡条的边缘直线度以及像素位置遮挡精度，降低蒸镀阴影面积，实现对具有高像素密度的显示面板的高精度掩膜。所述掩膜板包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，所述第二支撑遮挡条和所述第一支撑遮挡条垂直交叉分布；其中，每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板。

背景技术

平面显示器(F1at Pane1 Disp1ay，FPD)己成为市场上的主流产品，平面显示器的种类也越来越多，如液晶显示器(Liquid Crysta1 Disp1ay，LCD)、有机发光二极管(Organic Light Emitted Diode，OLED)显示器、等离子体显示面板(P1asma Disp1ayPane1，PDP)及场发射显示器(Field Emission Display，FED)等。

现有技术的掩膜板存在支撑遮挡条的边缘直线度较差、像素位置遮挡精度较低、蒸镀阴影区较大，无法实现对具有高像素密度的显示面板的高精细掩膜。

发明内容

本申请提供一种掩膜板，以提高掩膜板的支撑遮挡条的边缘直线度以及像素位置遮挡精度，降低蒸镀阴影面积，进而以实现对具有高像素密度的显示面板的高精细掩膜。

本申请实施例提供一种掩膜板，包括：多条沿第一方向延伸的第一支撑遮挡条，以及多条沿第二方向延伸的第二支撑遮挡条，所述第二支撑遮挡条与所述第一支撑遮挡条垂直交叉分布；其中，

每一所述第二支撑遮挡条和/或每一所述第一支撑遮挡条在第一预设面的平行于其延伸方向的侧边设置有减薄区域，所述减薄区域沿该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向延伸，所述减薄区域的厚度小于所述减薄区域以外的其它区域的厚度，所述第一预设面为通过所述掩膜板进行掩膜蒸镀时，所述第二支撑遮挡条和所述第一支撑遮挡条的面向沉积材料的一面。

优选的，所述掩膜板还包括掩膜框架，每一所述第二支撑遮挡条以及每一所述第一支撑遮挡条具有与所述掩膜框架搭接的两个端部，以及位于两个所述端部之间的中间部；

在平行于所述第一方向上，所述第一支撑遮挡条的所述减薄区域的长度与该所述第二支撑遮挡条的所述中间部的长度相等；在平行于所述第二方向上，所述第二支撑遮挡条的所述减薄区域的长度与该所述第一支撑遮挡条的所述中间部的长度相等。

优选的，所述第一支撑遮挡条的所述减薄区域在垂直于所述第一方向上的宽度为0.5～5mm；所述第二支撑遮挡条的所述减薄区域在垂直于所述第二方向上的宽度为0.5～5mm。

优选的，所述减薄区域的厚度为该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的厚度的六分之一至三分之二。

优选的，所述减薄区域在所述第一预设面的正投影为长方形或梯形。

优选的，所述减薄区域为一凹陷的条状台阶结构，所述台阶结构包括底面、与所述底面垂直连接且相对的第一侧面和第二侧面、以及连接所述第一侧面和所述第二侧面的第三侧面，其中，所述第一侧面与所述第二侧面相对，并垂直于该所述减薄区域所在的所述第二支撑遮挡条或所述第一支撑遮挡条的延伸方向；

所述减薄区域还设置有多个相互间隔的第一肋部，每一所述第一肋部的底端与所述台阶结构的所述第三侧面固定，并沿垂直于所述第三侧面的方向延伸，且所述第一肋部一侧面还与所述台阶结构的部分所述底面重叠。

优选的，所述第一肋部在垂直于所述第三侧面方向上的长度小于或等于所述台阶结构在垂直于所述第三侧面方向上的长度。