[发明专利]用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统在审
| 申请号： | 201780096319.0 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN111279107A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·林登贝格;马丁·凯梅尔;布里希·拉贾 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;C23C14/56;F16J15/06;F16J15/10;F16J15/12;F16K1/46 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于真空密封的锁定阀(100)。所述锁定阀(100)包括：基部结构(110)，所述基部结构具有阀开口(111)；闸板(140)，所述闸板用于关闭所述阀开口(111)；以及密封件(160)。所述密封件包括：密封基部(161)，所述密封基部连接到所述基部结构(110)；以及密封顶部(162)，所述密封顶部用于提供与所述闸板(140)的密封接触。所述密封基部(161)具有比所述密封顶部(162)高的刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 密封 锁定 空腔 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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