[发明专利]用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统

权利要求书

1.一种用于真空密封的锁定阀(100)，包括：

-基部结构(110)，所述基部结构具有阀开口(111)，

-闸板(140)，所述闸板用于关闭所述阀开口(111)，以及

-密封件(160)，所述密封件包括：密封基部(161)，所述密封基部连接到所述基部结构(110)；以及密封顶部(162)，所述密封顶部用于提供与所述闸板(140)的密封接触，所述密封基部(161)具有比所述密封顶部(162)高的刚度。

2.根据权利要求1所述的锁定阀(100)，所述密封件(160)包括刚度梯度，所述刚度从所述密封基部(161)到所述密封顶部(162)减小。

3.根据权利要求1或2所述的锁定阀(100)，所述密封件(160)包括固定件(163)，所述固定件用于将所述密封件(160)固定到所述基部结构(110)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的锁定阀(100)，所述基部结构(110)包括接收部(113)，所述密封基部(161)布置在所述接收部(113)中。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的锁定阀(100)，所述密封件(160)是成整体的一体式元件。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的锁定阀(100)，所述密封顶部(162)是连接到所述密封基部(161)的单独元件。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的锁定阀(100)，所述密封顶部(162)由与所述密封基部(161)不同的材料制成。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的锁定阀(100)，所述密封件(160)包括功能元件(165)，所述功能元件嵌入在所述密封件(160)中。

9.根据权利要求8所述的锁定阀(100)，所述功能元件(165)嵌入在所述密封基部(161)中并被配置为用于增强所述密封基部(161)的所述刚度。

10.根据权利要求8或9所述的锁定阀(100)，所述功能元件(165)选自由以下项组成的组：弹簧、U形金属板材、S形金属板材、V形金属板材或以上项的任何组合。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的锁定阀(100)，所述密封基部(161)具有与所述密封顶部(162)不同的材料结构。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的锁定阀(100)，所述密封顶部(162)是柔性的且可压缩的。

13.一种用于真空密封的锁定阀(100)，包括：

-壳体(170)，所述壳体具有第一孔(171)和第二孔(172)，以及

-锁定阀嵌体(175)，所述锁定阀嵌体布置在所述壳体中，所述锁定阀嵌体包括：

-基部结构(110)，所述基部结构具有阀开口(111)，所述阀开口(111)被配置为用于传送大面积基板通过所述阀开口(111)；

-闸板(140)，所述闸板用于关闭所述阀开口(111)；以及

-密封件(160)，所述密封件设于所述阀开口周围，所述密封件(160)包括：密封基部(161)，所述密封基部连接到所述基部结构(110)；以及密封顶部(162)，所述密封顶部用于提供与所述闸板(140)的密封接触，所述密封基部(161)具有比所述密封顶部(162)高的刚度。