[发明专利]用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统

说明书

描述了用于真空密封的锁定阀(100)。所述锁定阀(100)包括：基部结构(110)，所述基部结构具有阀开口(111)；闸板(140)，所述闸板用于关闭所述阀开口(111)；以及密封件(160)。所述密封件包括：密封基部(161)，所述密封基部连接到所述基部结构(110)；以及密封顶部(162)，所述密封顶部用于提供与所述闸板(140)的密封接触。所述密封基部(161)具有比所述密封顶部(162)高的刚度。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于真空密封的锁定阀。特别地，本公开内容涉及用于真空处理系统的真空腔室的真空密封的锁定阀。此外，本公开内容涉及用于将基板从大气条件传送到真空条件的具有锁定阀的真空腔室。另外地，本公开内容涉及用于处理基板的真空处理系统，特别是用于处理大面积基板的直列(inline)真空处理系统。

背景技术

通常例如在5*10^-4hPa至0.5hPa的范围内的压力下在高真空条件下在真空处理系统或真空涂覆设备中涂覆基板。为了提高设备生产率和避免必需要为每个基板而抽空整个设施并尤其是高真空区段的情况，针对基板使用了装载锁定件和卸载锁定件(或入口腔室和出口腔室)。

为了提高材料通量速率和提高在现代直列涂覆设备中的生产率，使用了单独的装载锁定腔室和卸载锁定腔室。一种简单的所谓的3腔室式涂覆单元由装载锁定件、顺序的真空涂覆区段(一个或多个工艺腔室)和卸载锁定件组成，在该装载锁定件中，基板从大气压力被泵吸到例如在p＝l*10^-3hPa至p＝1.0hPa之间的适当的过渡压力，在该卸载锁定件中，通过通气将所述基板再次调整到大气压力水平。在一些系统中，装载锁定件和卸载锁定件由同一装载锁定腔室提供。

装载锁定腔室和卸载锁定腔室的任务是将充足且足够低的过渡压力抽空到工艺范围，以及再尽可能快地通气到大气压力。在将基板从装载锁定腔室卸载之后，再次抽空装载锁定腔室。

同时，在过去几年中，越来越希望在真空工艺期间有较少的污染。例如，当生产显示器时，对颗粒污染的接受度已经降低，并且品质标准，同时也是客户所期望的品质标准，已经提高。例如，可能因由在真空腔室排空期间的压力变化导致的作用在锁定阀部件上的机械应力而发生污染。

因此，对提供可用来克服本领域的至少一些问题的改进的用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统存在持续需求。

发明内容

鉴于上述，提供了一种根据独立权利要求的用于真空密封的锁定阀、具有用于真空密封的至少一个锁定阀的真空腔室、以及用于处理基板的真空处理系统。

根据本公开内容的一方面，提供了一种用于真空密封的锁定阀。所述锁定阀包括：基部结构，所述基部结构具有阀开口；闸板，所述闸板用于关闭所述阀开口；以及密封件。所述密封件包括密封基部，所述密封基部连接到所述基部结构。此外，所述密封件包括密封顶部，所述密封顶部用于提供与所述闸板的密封接触。所述密封基部具有比所述密封顶部高的刚度。

根据本公开内容的另一方面，提供了一种用于真空密封的锁定阀。所述锁定阀包括：壳体，所述壳体具有第一孔和第二孔；以及锁定阀嵌体。所述锁定阀嵌体布置在所述壳体中。此外，所述锁定阀嵌体包括基部结构，所述基部结构具有阀开口。所述阀开口被配置为用于传送大面积基板通过所述阀开口。另外地，所述锁定阀嵌体包括闸板，所述闸板用于关闭所述阀开口。此外，所述锁定阀嵌体包括密封件，所述密封件设于所述阀开口周围。所述密封件包括密封基部，所述密封基部连接到所述基部结构。此外，所述密封件包括密封顶部，所述密封顶部用于提供与所述闸板的密封接触。所述密封基部具有比所述密封顶部高的刚度。