[发明专利]电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备有效
申请号: | 201780096236.1 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN111263882B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 池田伦秋;森山淳児 | 申请(专利权)人: | 世高株式会社 |
主分类号: | G01J1/44 | 分类号: | G01J1/44;G01J1/02;G01J1/42;G01T7/00;H01L31/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种电磁波检测组件,其中在通过将用于检测电磁波的多个检测元件按二维阵列排列所构成的电磁波检测部件的各检测元件与该电磁波检测部件的外侧的预定连接目的地之间以良好的可制造性且以尽可能不在电磁波的检测中造成麻烦的方式形成布线。包括沿Y方向排列的M个(M是2以上的整数)检测元件的检测元件组在与Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列(N是2以上的整数),并且在同一基板面上设置将M×N个检测元件中的各检测元件与电磁波检测部件的Y轴方向上的任一端外侧的预定连接目的地电气连接的M×N个布线。 | ||
搜索关键词: | 电磁波 检测 组件 阵列 无损 检查 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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