[发明专利]电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备

说明书

本发明提供一种电磁波检测组件，其中在通过将用于检测电磁波的多个检测元件按二维阵列排列所构成的电磁波检测部件的各检测元件与该电磁波检测部件的外侧的预定连接目的地之间以良好的可制造性且以尽可能不在电磁波的检测中造成麻烦的方式形成布线。包括沿Y方向排列的M个(M是2以上的整数)检测元件的检测元件组在与Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列(N是2以上的整数)，并且在同一基板面上设置将M×N个检测元件中的各检测元件与电磁波检测部件的Y轴方向上的任一端外侧的预定连接目的地电气连接的M×N个布线。

技术领域

本发明涉及电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备，其各自具有如下的结构：在包括多个检测元件的电磁波检测部件的外侧有效地引出来自各检测元件的布线。

背景技术

通常，在从产品的制造到包装和装运的各处理中，利用适合于要检查的产品或可能混入的异物的类型(材料、大小等)的检查方法进行检查，以确认在产品或包装中是否存在任何异物等。

其中，在使用针对各物质的电磁波渗透性的差异的无损检查中，利用诸如X射线等的电磁波照射待检查物体，并且检测透过的电磁波。此时，电磁波的透过程度根据待检查物体中的异物的有无以及异物的材料等而不同。因此，通过生成用浓淡(shading)等表示所检测到的透过电磁波的强度分布的二维图像，可以检查从外观无法知晓的待检查物体内部的状况。

更具体地，例如，与待检查物体的输送方向垂直的线传感器周期性地扫描来自在被电磁波照射的同时输送的待检查物体的透过电磁波，并且顺次生成线状的电磁波透过图像。然后，可以通过将待检查物体的二维图像沿扫描方向顺次排列来生成这些二维图像(例如，参见专利文献1)。

为了从构成线传感器的多个检测元件读出信号，主要采用CMOS方式或CCD方式。

在CMOS方式中，从构成线传感器的各个检测元件输出的电荷由电荷放大器转换成电气信号，然后通过使用开关或移位寄存器来顺次读出。

作为用于在基板上实现这些功能单元的方法其中之一，存在如下的方法：在基板上形成包括多个检测元件的线传感器、以及作为包括电荷放大器和移位寄存器等的CMOS信号处理IC的读取单元，并且这些单元通过图案化布线等彼此电气连接。

图8示出如下的示例：在同一基板上形成作为电磁波检测部件的线传感器30以及读取部件40，并且在构成线传感器30的六个检测元件a1～f1各自与读取部件40之间形成布线a1w～f1w。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-020843

发明内容

发明要解决的问题

无损检查设备中所采用的电磁波检测部件不一定是线传感器，并且例如，可以采用按二维阵列排列的多个检测元件。在电磁波检测部件例如用作区域传感器或TDI传感器的情况下采用这样的排列。

这样的排列例如可以通过将图8所示的多个线传感器沿待检查物体的输送方向排列来实现。

然而，在该图中的线传感器30的左侧排列其它线传感器的情况下，由于至少线传感器30存在于其它线传感器的右侧，因此如何将布线从构成其它线传感器的多个检测元件中的各检测元件路由到读取部件40成为问题。

本发明的目的是提供一种电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备，其中，在通过将用于检测电磁波的多个检测元件按二维阵列排列所构成的电磁波检测部件的各检测元件与该电磁波检测部件的外侧的预定连接目的地之间，以良好的可制造性并且因此以尽可能不干扰电磁波的检测的方式形成布线。

用于解决问题的方案