[发明专利]电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备

权利要求书

1.一种无损检查设备，其包括：

电磁波检测组件；

电磁波照射部件，用于利用预定电磁波来照射待检查物体；以及

输送部件，用于沿Y轴方向输送放置在输送面上的所述待检查物体，

其中，所述电磁波检测组件在同一基板面上包括：

电磁波检测部件，在所述电磁波检测部件中，沿所述Y轴方向排列的M个检测元件的检测元件组在与所述Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列，其中M是2或更大的整数，并且N是2或更大的整数；以及

M×N个布线，用于将M×N个所述检测元件中的各检测元件与所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的一端外侧的预定连接目的地电气连接，

其中，构成所述检测元件组的各检测元件的露出面积逐渐减少。

2.根据权利要求1所述的无损检查设备，其中，对于所有的所述检测元件组，来自属于所述检测元件组的各检测元件的布线被路由通过该检测元件组与所述电磁波检测部件的所述X轴方向上的同一端侧上的邻接检测元件组之间的间隙。

3.根据权利要求1所述的无损检查设备，其中，所述预定连接目的地是针对所述布线中的各布线所设置的以一对一的方式连接至M×N个所述检测元件中的各检测元件的连接目的地。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的无损检查设备，其中，所述预定连接目的地也设置在所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的另一端外侧，以及

其中，针对各所述检测元件组，来自属于该检测元件组的各检测元件的布线是以与任何邻接检测元件的中间作为边界而从所述一端的检测元件连接至所述一端外侧的预定连接目的地，并且所述另一端的检测元件连接至所述另一端外侧的预定连接目的地。

5.根据权利要求4所述的无损检查设备，其中，所述边界被设置成：在M是偶数的情况下，夹持所述边界的检测元件的数量为(M/2)，以及在M是奇数的情况下，夹持所述边界的检测元件的数量为((M+1)/2)和((M-1)/2)。

6.根据权利要求1所述的无损检查设备，其中，

所述电磁波检测组件被布置在从所述电磁波照射部件、经由所述输送面的放置有所述待检查物体的部分、到达所述电磁波检测组件的电磁波的传播路径中，使得与所述输送面的分离距离短于所述电磁波照射部件和所述输送面之间的分离距离，并且所述电磁波检测组件被配置为对透过所述待检查物体的电磁波进行检测。

7.根据权利要求1或6所述的无损检查设备，其中，

所述电磁波检测组件设置在所述输送部件的内部，并且对透过所述待检查物体的电磁波进行检测。

8.一种无损检查设备，其包括：

电磁波检测组件；

电磁波照射部件，用于利用预定电磁波来照射待检查物体；以及

输送部件，用于沿Y轴方向输送放置在输送面上的所述待检查物体，

其中，所述电磁波检测组件在同一基板面上包括：

电磁波检测部件，在所述电磁波检测部件中，沿所述Y轴方向排列的M个检测元件的检测元件组在与所述Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列，其中M是2或更大的整数，并且N是2或更大的整数；以及

M×N个布线，用于将M×N个所述检测元件中的各检测元件与所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的一端外侧的预定连接目的地电气连接，

所述电磁波检测部件配置在所述输送部件的外侧，

其中，对于所有的所述检测元件组，来自属于所述检测元件组的各检测元件的布线被路由通过该检测元件组与所述电磁波检测部件的所述X轴方向上的同一端侧上的邻接检测元件组之间的间隙，

所述预定连接目的地是针对所述布线中的各布线所设置的以一对一的方式连接至M×N个所述检测元件中的各检测元件的连接目的地，

所述预定连接目的地也设置在所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的另一端外侧，其中，针对各所述检测元件组，来自属于该检测元件组的各检测元件的布线是以与任何邻接检测元件的中间作为边界而从所述一端的检测元件连接至所述一端外侧的预定连接目的地，并且所述另一端的检测元件连接至所述另一端外侧的预定连接目的地，

所述边界被设置成：在M是偶数的情况下，夹持所述边界的检测元件的数量为(M/2)，以及在M是奇数的情况下，夹持所述边界的检测元件的数量为((M+1)/2)和((M-1)/2)，

所述电磁波检测组件被布置在从所述电磁波照射部件、经由所述输送面的放置有所述待检查物体的部分、到达所述电磁波检测组件的电磁波的传播路径中，使得与所述输送面的分离距离短于所述电磁波照射部件和所述输送面之间的分离距离，并且所述电磁波检测组件被配置为对透过所述待检查物体的电磁波进行检测，

其中，构成所述检测元件组的各检测元件的露出面积逐渐减少。