[发明专利]半导体装置、半导体装置的制造方法有效
申请号: | 201780089190.0 | 申请日: | 2017-04-04 |
公开(公告)号: | CN110537302B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 河原弘幸 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01S5/026 | 分类号: | H01S5/026 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及的半导体装置的特征在于,具备:衬底;半导体激光器部,其形成于该衬底之上,具有相同组成的有源层和第1脊构造;以及相邻部,其是光调制器或者光波导,形成于该衬底之上,具有相同组成的芯层和第2脊构造,该相邻部与该半导体激光器部接触。并且,该第1脊构造在与该第2脊构造接触的第1接触部处宽度最大,该第2脊构造在与该第1脊构造接触的第2接触部处宽度最大。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,具备:/n衬底;/n半导体激光器部,其形成于所述衬底之上,具有相同组成的有源层和第1脊构造;以及/n相邻部,其是光调制器或者光波导,形成于所述衬底之上,具有相同组成的芯层和第2脊构造,该相邻部与所述半导体激光器部接触,/n所述第1脊构造在与所述第2脊构造接触的第1接触部处宽度最大,所述第2脊构造在与所述第1脊构造接触的第2接触部处宽度最大。/n
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