[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201780088310.5 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110431649B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 平野辽;森下英郎;扬村寿英;片根纯一;野间口恒典 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/153;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 带电粒子束装置具备：带电粒子源，其射出带电粒子束；助推电极，其配置于带电粒子源与试样之间，形成带电粒子束的通路，并且对上述带电粒子束进行加减速；第一磁极片，其形成为覆盖助推电极；第二磁极片，其形成为覆盖第一磁极片；第一透镜线圈，其配置于第一磁极片的外侧，并且配置于上述第二磁极片的内侧，且形成第一透镜；第二透镜线圈，其配置于第二磁极片的外侧且形成第二透镜；以及控制电极，其形成于第一磁极片的前端部与第二磁极片的前端部之间，且控制形成于试样与第二磁极片的前端部之间的电场。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子源，其射出带电粒子束；助推电极，其配置于上述带电粒子源与上述试样之间，形成上述带电粒子束的通路，并且对该带电粒子束进行加减速；第一磁极片，其形成为覆盖上述助推电极；第二磁极片，其形成为覆盖上述第一磁极片；第一透镜线圈，其配置于上述第一磁极片的外侧，并且配置于上述第二磁极片的内侧，且形成第一透镜；第二透镜线圈，其配置于上述第二磁极片的外侧且形成第二透镜；以及控制电极，其形成于上述第一磁极片的前端部与上述第二磁极片的前端部之间，且控制形成于上述试样与上述第二磁极片的前端部之间的电场。
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