[发明专利]带电粒子束装置

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

带电粒子源，其射出带电粒子束；

助推电极，其配置于上述带电粒子源与试样之间，形成上述带电粒子束的通路，并且对上述带电粒子束进行加减速；

第一磁极片，其形成为覆盖上述助推电极；

第二磁极片，其形成为覆盖上述第一磁极片；

第一透镜线圈，其配置于上述第一磁极片的外侧，并且配置于上述第二磁极片的内侧，且形成第一透镜；

第二透镜线圈，其配置于上述第二磁极片的外侧且形成第二透镜；以及

控制电极，其形成于上述第一磁极片的前端部与上述第二磁极片的前端部之间，且控制形成于上述试样与上述第二磁极片的前端部之间的电场，

上述助推电极、上述控制电极、上述第二磁极片以及上述试样互相电独立地配置，若将对上述试样的施加电压定义为Vs、将对上述控制电极的施加电压定义为Vc、且将对上述助推电极的施加电压定义为Vb，则满足Vs≤Vc≤Vb，

上述带电粒子束装置还具备分割单元，该分割单元能够装卸地形成于上述带电粒子束装置，

上述带电粒子束装置形成为能够从上述分割单元与上述带电粒子束装置的分割部位向该带电粒子束装置内插入部件。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第一透镜是非浸入式透镜，上述第二透镜是浸入式透镜。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述分割单元包括上述第二磁极片的上述试样侧的前端部。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述分割单元还包括上述控制电极和上述助推电极的上述试样侧的前端部。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述部件是检测从上述试样产生的带电粒子的检测器。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述部件是真空差动排气用的节流孔。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述部件是用于将带电粒子束偏转的偏转器。

8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第二磁极片在其侧面轴对称地具备用于向上述控制电极导入电压的2至4个贯通孔。

9.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第一磁极片及第二磁极片的试样侧的前端部、以及上述助推电极及上述控制电极的试样侧的前端部呈轴对称的中空圆锥形状，

上述助推电极的试样侧的前端部位于上述第一磁极片的试样侧的前端部及上述第二磁极片的试样侧的前端部之间，

上述控制电极的试样侧的前端部位于上述助推电极的试样侧的前端部与上述第二磁极片的试样侧的前端部之间。

10.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

对第一透镜线圈进行激励时向上述助推电极施加的电压和对第二透镜线圈进行励磁时向上述助推电极施加的电压设定为同一电位。