[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及蒸镀掩模的制造装置有效
| 申请号： | 201780086024.5 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110268090B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 成谷元嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 实现掩模与框架之间的足够的接合强度。一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有形成了图案开口的图案部和包围所述图案部的框部；以及掩模框架，其对所述框部进行支撑，所述框部具有与所述掩模框架交叉的端面，所述掩模主体在所述端面处被固定于所述掩模框架。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模，其特征在于，具备：掩模主体，其具有形成了图案开口的图案部和包围所述图案部的框部；以及掩模框架，其对所述框部进行支撑，所述框部具有与所述掩模框架交叉的端面，所述掩模主体在所述端面处被固定于所述掩模框架。
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